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Produits pour l’industrie des semi-conducteurs
Nouveautés produits
Pompe à vide sèche à usage intensif Ganymede pour applications de semi-conducteurs
Pompes à vide sèches Nextgen pour les procédés de semi-conducteurs difficiles, réduisant le TCoO, améliorant la disponibilité et soutenant les objectifs de durabilité de l’usine.
EUV Vizeon
Système intégré de sous-usine de lithographie EUV combinant le vide, la manipulation et la récupération de l’hydrogène pour améliorer l’efficacité, la disponibilité et les coûts.