Sucha pompa próżniowa Ganymede do pracy w trudnych warunkach, przeznaczona do półprzewodników
Suche pompy próżniowe Nextgen do wymagających procesów półprzewodnikowych, zmniejszające TCoO, wydłużające czas sprawnego działania i wspierające cele zrównoważonego rozwoju fabryk.
Zintegrowany system podfabryczny do litografii EUV łączący próżnię, obsługę wodoru i odzysk w celu poprawy wydajności, czasu sprawnego działania i kosztów.
