Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
Giải pháp chân không của Edwards cho các công nghệ màng mỏng sáng tạo
Công nghệ phủ màng mỏng đã trở thành một phần rất quan trọng trong cuộc sống của chúng ta trong mọi khía cạnh, cho dù đó là trong các ứng dụng tiêu dùng như kính mắt hoặc gọng kính, điện thoại di động, ống kính camera, túi thực phẩm bằng kim loại, núm cửa, nhân vật trang trí hoặc trong các ứng dụng công nghiệp trong sản xuất tấm pin mặt trời để giữ năng lượng ánh sáng cũng như trong sản xuất mạch điện tử. Sử dụng rộng rãi và là tính năng hỗ trợ cho nhiều vật dụng hàng ngày.
Danh sách này là vô tận với các quy trình mới thường xuyên được phát hiện để lắng đọng kim loại, hợp chất hoặc oxit trên các chất nền như kim loại, nhựa hoặc gốm sứ và thay đổi đặc tính bề mặt của các chất nền này, và thay đổi các đặc tính như độ truyền, độ phản xạ, độ cứng, kháng, hấp thụ, ăn mòn và hành vi điện. Một vài ví dụ bao gồm cải thiện độ chính xác và độ nhạy của cảm biến y tế và môi trường, kính phát xạ thấp, kính có lớp phủ chống phản xạ, lớp phủ chống dấu vân tay cho màn hình cảm ứng, lớp phủ bảo vệ (DLC) cho camera xe hơi, rào cản khuếch tán cho bao bì thực phẩm, bề mặt chống thấm nước, lớp phủ tribological cho bộ phận giả, màu sắc và đồ họa sống động trên điện thoại thông minh và năng suất cao hơn cho các tấm pin mặt trời.
Lớp phủ mỏng hoạt động như thế nào?
Kỹ thuật gắn màng mỏng có thể được chia thành các quy trình Vật lý và Hóa học theo các thuật ngữ đơn giản.
Lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Điều này liên quan đến sự bay hơi của vật liệu từ trạng thái rắn và ngưng tụ lên một chất nền ở nhiệt độ thấp hơn. Những quy trình này thường diễn ra trong môi trường chân không cao, nơi bơm chân không sơ cấp được kết hợp với bơm chân không phụ như bơm phân tử tuabin, bơm đông lạnh hoặc bơm khuếch tán. Để giảm thời gian bơm và tăng thông lượng, có thể bổ sung bơm hơi nước đông lạnh, được gọi là PolycoldTM , trong buồng phủ.
Tóm lại, có nhiều quy trình PVD khác nhau chủ yếu phụ thuộc vào kỹ thuật bay hơi:
- Nguồn nhiệt điện trở
- Chùm điện tử
- Phóng điện hồ quang
- Phún xạ plasma từ tính
- Phún xạ tia ion
Các lớp phủ PVD cũng có thể được phân đoạn theo thiết kế cấu trúc của chúng:
- Máy phủ hàng loạt hoặc máy phủ hộp: các sản phẩm được nạp và dỡ sau mỗi quy trình đắp.
- Máy phủ cuộn theo cuộn: một chất nền cuộn linh hoạt nguồn được tiếp liệu liên tục vào buồng quy trình phủ và sau đó được cuộn lại vào một cuộn riêng biệt trước khi được lấy ra khi quy trình hoàn tất.
- Máy phủ trong dây chuyền: Máy phủ liên tục thực sự cho yêu cầu công suất cao, nơi sản phẩm được nạp vào khoang nạp liệu, còn được gọi là khoang nạp liệu hoặc khóa nạp liệu, và đi ra qua khoang thoát, còn được gọi là khoang dỡ liệu.
Lắng đọng hơi hóa học (CVD)
Đây là kỹ thuật lắng đọng trong đó vật liệu nguồn, hoặc tiền chất, được đưa vào buồng hoặc lò phản ứng ở pha khí, thường phản ứng hóa học với các khí khác trước khi ngưng tụ trên chất nền. Các quy trình này thường diễn ra ở 10 -3 mbar trở lên. Quy trình lắng đọng hóa học phụ thuộc vào cách phản ứng được kích hoạt, phản ứng nhiệt đơn giản, hoặc với sự hỗ trợ của áp suất giảm (LPCVD), hoặc với sự hỗ trợ của huyết tương (PECVD hoặc PACVD). Những tiến bộ gần đây trong quy trình lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) và epitaxy pha lỏng đang tăng tốc trong lĩnh vực điện tử.
Vai trò của công nghệ chân không trong lớp phủ màng mỏng
Công nghệ chân không rất quan trọng đối với các quy trình này, vì hơi của các vật liệu này cần phải chảy không bị cản trở và không có tạp chất, vào môi trường áp suất thấp và lên các chất nền, hoặc chỉ để cho phép điều kiện quy trình cho plasma. Do đó, việc tạo ra không khí chân không và giám sát áp suất cực kỳ quan trọng đối với các quy trình này.
Edwards đã đi đầu trong ngành công nghiệp màng mỏng bằng cách liên tục phát triển một loạt các giải pháp chân không - hệ thống bơm chân không sơ cấp, bơm chân không phụ, máy đo chân không, máy phân tích khídư - trong nhiều năm để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các quy trình phủ đa dạng. Cho dù đó là quản lý chu trình bơm nhanh theo yêu cầu của quy trình phủ thủy tinh và năng lượng mặt trời hay quản lý các quy trình khắc nghiệt trong các ứng dụng ALD hoặc LPE, chúng tôi đều có các giải pháp chân không được tối ưu hóa để đáp ứng yêu cầu của bạn.
Dưới đây là một cái nhìn về các giải pháp chân không chính xác của Edwards cho các quy trình phủ màng mỏng
