Nhược điểm có thể xảy ra của hơi nước ngưng tụ trong bơm chân không
Cho phép hơi ngưng tụ bên trong bơm sẽ dẫn đến:
- Giảm hiệu suất
- Không đạt được mức tối đa
- Xả chậm
- Gây ra các vấn đề về cơ khí.
Không tuân thủ quy trình bơm tốt sẽ có nghĩa là mất rất lâu để bơm xuống áp suất mục tiêu. Khi hơi ngưng tụ bên trong bơm chân không, nó có thể dẫn đến giảm độ tin cậy thông qua các tác động ăn mòn tăng tốc; ngưng tụ cũng có thể làm tăng thời gian bơm và giới hạn áp suất cuối.
Bơm cánh quạt xoay RV của Edwards với các phụ kiện
- Bộ lọc khí
- Quay trở lại dầu dung môi khí
- Bộ giảm rung
- Bẫy dây dẫn đầu vào
- Cáp
Làm thế nào để tránh nhược điểm của hơi nước ngưng tụ?
1. Làm nóng bơm trước khi tiếp xúc với hơi nước ngưng tụ
Đầu tiên, điều quan trọng là bơm phải ấm lên đến nhiệt độ hoạt động bình thường trước khi tiếp xúc với hơi nước ngưng tụ, điều này thường mất đến 60 phút. Điều này sẽ ngăn hơi nước ngưng tụ bên trong bơm tương đối mát.
"Đóng" cổng nạp của bơm, bằng cách đóng van và cho phép bơm chạy bơm "không có gì" là tất cả những gì cần thiết.
Chạy dưỡng khí trong quá trình này sẽ giúp bơm khởi động nhanh hơn.
2. Chạy dung môi khí trong khi bơm hơi
Thứ hai, thường phải chạy chấn áp trong suốt thời gian hơi nước đi qua bơm.
Trong khi hơi nước được bơm bão hòa, áp suất cuối của bơm chân không sẽ bị giới hạn, không phải bởi hiệu suất áp suất cuối của chính bơm, mà bởi áp suất hơi của vật liệu đang được xử lý. Ví dụ: nước có áp suất hơi bão hòa là ~24 mbar (18 Torr) ở 20 °C (70 °F), đây là áp suất tốt nhất mà bơm có thể đạt được cho đến khi tất cả nước đã được bơm ra.
Cho phép hơi nước ngưng tụ bên trong bơm sẽ làm cho thời gian phục hồi áp suất cuối dài hơn nhiều so với nếu nó vẫn ở pha hơi vì nó phải bay hơi lại trước khi có thể bơm ra. Nước ngưng tụ có thể làm giảm tuổi thọ của dầu cánh quạt xoay bịt kín bằng dầu và trong tất cả các bơm hơi nước ngưng tụ có thể 'tăng tốc' tác động ăn mòn của các vật liệu khác đang được xử lý.
Kiểm soát dung môi khí trên bơm cánh quạt xoay kín dầu RV
3. Cho phép bơm "làm sạch" sau khi bơm hơi nước
Cho phép bơm "làm sạch" sau khi bơm hơi sẽ kéo dài tuổi thọ và hiệu suất của bơm.
Nếu bơm bị tắt ngay khi quy trình tạo hơi nước kết thúc, hơi nước sẽ vẫn còn bên trong bơm, ngưng tụ và dẫn đến hao mòn nhanh hơn do ăn mòn bên trong bơm. Vận hành bơm với cổng nạp "bịt kín" bằng van sẽ cho phép bơm xả hơi còn lại sẽ mang lại tuổi thọ lâu dài nhất và phục hồi nhanh nhất khi sử dụng tiếp theo.
Chúng tôi khuyến nghị nên chạy bơm trong tối thiểu 20 đến 30 phút sau khi hoàn thành quy trình chân không như một phương pháp tốt nhất. Chạy dung môi khí trong quá trình "làm sạch" sẽ đảm bảo hơi nước ngưng tụ được đẩy ra khỏi bơm. Điều rất quan trọng là khi bơm hơi dễ cháy, nên sử dụng khí trơ như nitơ làm khí dung môi.