Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
愛德華用於創新薄膜技術的真空解決方案
薄膜鍍膜技術已成為我們生活中各個方面的重要部分，無論是在消費者應用中，例如眼鏡或鏡框、手機、相機鏡片、食品金屬包裝袋、門把手、裝飾人偶，還是在太陽能板製造中用於保留光能以及電子電路製造中的工業應用。其用途廣泛，是許多日常物品的輔助功能。
在金屬、塑膠或陶瓷等基材上沉積金屬、化合物或氧化物，並修改這些基材的表面特性，以及改變透射率、反射率、硬度、電阻、吸收、腐蝕和電氣行為等特性的新製程層出不窮。一些例子包括改善醫療和環境感測器的準確度和靈敏度、低發射性眼鏡、具有抗反射塗層的眼鏡、用於觸控螢幕的防指紋塗層, 汽車攝影機的保護 (DLC) 塗層，食品包裝的擴散屏障，防水表面，假體的摩擦塗層, 智慧型手機上的鮮艷色彩和圖形，並提高太陽能電池板的效率。
薄膜塗層的工作原理是什麼？
薄膜沉積技術可簡單地分為物理和化學製程。
物理氣相沉積 (PVD)
這涉及材料從固態蒸發並在較低溫度下凝結到基材上。這些製程通常在高真空環境中發生，其中主要真空泵浦與次要真空泵浦（如渦 輪分子 、低溫或擴散泵浦）相結合。為了縮短抽氣時間並提高產量，可以在塗層室中增加額外的低溫水蒸汽抽氣，即所謂的 Polycold TM 。
簡而言之，有不同的 PVD 製程，主要取決於蒸發技術：
- 電阻式熱源
- 電子束
- 電弧放電
- 磁控管電漿濺射
- 離子束濺射
PVD 鍍膜也可根據其結構設計進行分割：
- 批次鍍膜機或箱式鍍膜機：產品在每個沉積過程後裝載和卸載。
- 滾動式鍍膜機：將柔性捲狀基材連續送入鍍膜製程腔體，然後重新捲繞到單獨的滾筒上，然後在製程完成時取出。
- 生產線上鍍膜機：滿足高產出要求的真正連續鍍膜機，其中產品裝載到入口腔體（也稱為裝載腔體或 load lock）中，並通過出口腔體（也稱為卸載腔體）排出。
化學蒸汽沉積反應器
這是一種沉積技術，將源材料或前體以氣態引入腔體或反應器，通常會與其他氣體發生化學反應，然後在基材上凝結。這些製程通常在 10 -3 mbar 及以上的壓力下進行。化學沉積製程取決於如何啟用反應、簡單的熱反應，或是透過減壓 (LPCVD) 或是電漿輔助（PECVD 或 PACVD）進行。最近，原子層沉積 (ALD) 和液相外延製程在電子領域的發展日益強勁。
以下是愛德華針對薄膜鍍膜製程的精密真空解決方案
