Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
Soluções de vácuo da Edwards para tecnologias inovadoras de película fina
A tecnologia de revestimento de película fina se tornou uma parte muito importante de nossas vidas em todos os aspectos, seja em aplicações de consumo como óculos ou armações, celulares, lentes de câmera, sachês metalizados para servir alimentos, maçanetas, figuras decorativas ou em aplicações industriais na fabricação de painéis solares para reter energia leve, bem como na fabricação de circuitos eletrônicos. O uso é generalizado e é um recurso de suporte para muitos objetos do dia a dia.
A lista é infinita, com novos processos sendo descobertos regularmente para a deposição de metais, compostos ou óxidos em substratos como metais, plásticos ou cerâmicas e modificando as características de superfície desses substratos, e alterando as propriedades como transmissão, reflexão, dureza, resistência, absorção, corrosão e comportamento elétrico. Alguns exemplos incluem precisão e sensibilidade melhoradas de sensores médicos e ambientais, óculos de baixa emissividade, óculos com revestimentos antirreflexo, revestimentos antiimpressão digital para tela sensível ao toque, revestimentos protetores (DLC) para câmeras automotivas, barreira de difusão para embalagens de alimentos, superfícies repelentes de água, revestimento tribológico para próteses, cores e gráficos vivos em smartphones e maior rendimento de eficiência para painéis solares.
Como funciona o revestimento de película fina?
As técnicas de deposição de película fina podem ser divididas em termos simples entre processos físicos e químicos.
Deposição Física de Vapor (PVD)
Isso envolve a vaporização de um material do estado sólido e condensação em um substrato a uma temperatura mais baixa. Esses processos normalmente ocorrem em um ambiente de alto vácuo, onde as bombas de vácuo primárias são combinadas com bombas de vácuo secundárias, como bombas turbomoleculares, criogênicas ou de difusão. Para reduzir o tempo de parada da bomba e aumentar a produtividade, pode-se adicionar bombeamento de vapor de água criogênico adicional, chamado PolycoldTM , na câmara de revestimento.
Em resumo, existem vários processos de PVD, principalmente dependendo da técnica de vaporização:
- Fonte de calor resistivo
- Feixe eletrônico
- Arco elétrico
- Pulverização de plasma por magnetron
- Pulverização de feixe de íons
Os revestidores PVD também podem ser segmentados de acordo com seu design de construção:
- Revestidores de lote ou revestidores de caixa: os produtos são carregados e descarregados após cada processo de deposição.
- Revestidor rolo a rolo: um substrato laminado flexível de origem é alimentado continuamente na câmara do processo de revestimento e, em seguida, rebobinado em um rolo separado antes de ser retirado quando o processo estiver concluído.
- Revestidores em linha: Verdadeiros revestidores contínuos para requisitos de alta produtividade, onde o produto é carregado na câmara de entrada, também chamada de câmara de carga ou trava de carga, e sai pela câmara de saída, também chamada de câmaras de descarga.
Reatores de deposição química de vapor
Essa é uma técnica de deposição em que o material de origem, ou precursor, é introduzido na câmara ou no reator na fase gasosa, geralmente reagindo quimicamente com outros gases antes da condensação no substrato. Esses processos normalmente ocorrem a 10-3 mbar e acima. Os processos de deposição química dependem de como a reação é ativada, reação térmica simples ou com a assistência de uma pressão reduzida (LPCVD) ou com a assistência de plasma (PECVD ou PACVD). Avanços recentes nos processos de Deposição de Camada Atômica (ALD) e Epitaxia de Fase Líquida estão ganhando impulso no setor eletrônico.
O papel da tecnologia de vácuo para revestimento de película fina
A tecnologia de vácuo é fundamental para esses processos, pois os vapores desses materiais são necessários para fluir livremente e sem impurezas, em atmosferas de baixa pressão e sobre os substratos, ou apenas para permitir condições de processo para um plasma. Portanto, gerar uma atmosfera de vácuo e monitorar as pressões são extremamente importantes para esses processos.
A Edwards tem estado na vanguarda da indústria de película fina, desenvolvendo continuamente uma ampla gama de soluções de vácuo — sistemas de bombeamento de vácuo primário, bombas de vácuo secundárias, medidores de vácuo, analisadores de gás residual - ao longo dos anos para atender aos rigorosos requisitos de diversos processos de revestimento. Seja gerenciando ciclos rápidos de bombeamento exigidos pelo processo de revestimento de vidro e solar ou gerenciando os processos agressivos em aplicações ALD ou LPE, temos soluções de vácuo otimizadas para atender às suas necessidades.
Veja as soluções de vácuo de precisão da Edwards para os processos de Revestimento com película fina
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