Máy phân tích khí dư
Sự cân bằng hoàn hảo giữa hiệu suất cao cấp và khả năng tiếp cận
Máy phân tích khí dư RGA
Dòng máy phân tích khí dư của chúng tôi đi kèm với ba biến thể: bất kể bạn chọn loại nào, chúng đều hoạt động đơn giản và hiệu quả, mang lại cho bạn sự thoải mái của một RGA hiệu suất cao và hiệu quả bên cạnh bạn.
Lợi ích đặc biệt
Tất cả các RGA đều được trang bị phần mềm chuyên dụng và dễ sử dụng
Nó cho phép bạn theo dõi quy trình của mình trong thời gian thực từ máy tính xách tay và thực hiện phân tích chi tiết lên đến 16 thiết bị khác nhau.
Đối với những người muốn xem ảnh chụp nhanh, các thiết bị có màn hình tích hợp độc đáo có thể hiển thị cho bạn các loại khí chính cũng như áp suất tổng thể của hệ thống mà không cần kết nối qua máy tính xách tay.
RGA thực hiện phân tích khí và thành phần của chúng, cần thiết cho:
- Phát hiện và xác định rò rỉ
- Phát hiện và xác định tạp chất
- Kiểm tra độ tinh khiết của khí
- Đảm bảo chất lượng sản phẩm/quy trình
- Chẩn đoán và kiểm soát quy trình & thiết bị
- Tối ưu hóa hiệu suất quy trình và năng suất
Giải pháp hoàn hảo cho nhiều ứng dụng:
- Quy trình bán dẫn
- Màng mỏng và màn hình
- Xử lý nhiệt chân không
- Sấy lạnh chân không
- Nghiên cứu & Phát triển
- Vật lý năng lượng cao
Máy phân tích khí chính PRA
Cung cấp sự cân bằng hoàn hảo giữa hiệu suất cao cấp và khả năng tiếp cận.
- Có bốn biến thể để phù hợp với nhu cầu quy trình của bạn, cho dù bạn chỉ cần một mẫu cơ bản hay một mẫu có độ nhạy/phạm vi cao hơn.
- PRA là điểm khởi đầu hoàn hảo để phân tích quy trình của bạn.
Máy phân tích khí dư phạm vi rộng WRA
Các mẫu hàng đầu, với thông số kỹ thuật hàng đầu thị trường.
- Có sẵn trong hai biến thể 1-200 hoặc 1-300 amu, bạn có thể đo nhiều loại khí/sản phẩm phụ từ quy trình của mình.
- Điều này được kết hợp với độ nhạy tăng so với PRA để cho phép đo lường chính xác hơn.
Hệ thống phân tích khí dư eRGA1
- Phân tích khí chính xác với các tùy chọn tùy chỉnh cho các áp suất khác nhau. Thiết kế nhỏ gọn của thiết bị này tích hợp một Máy phân tích khí dư PRA/WRA của Edwards và một trạm bơm turbo phân tử T-station 85.
- Chọn từ nhiều tùy chọn đầu vào để kết nối linh hoạt với bất kỳ quy trình nào. Lý tưởng để phát hiện rò rỉ, xác định tạp chất, xác minh độ tinh khiết của khí và chẩn đoán quy trình.
- Với phần mềm thân thiện với người dùng và cấu hình để bàn, thiết bị này dễ sử dụng.
- Thích hợp cho các ứng dụng và thị trường khác nhau, eRGA1 đảm bảo phân tích chính xác với độ tin cậy và linh hoạt.
Trải nghiệm sức mạnh của phân tích khí với hệ thống eRGA1.
Cổng dư khí eRGA1 và Bypass
Máy phân tích khí dư eRGA1 Van dẫn điện cao UHV
Máy phân tích khí dư eRGA1 Van rò rỉ UHV