Your browser is not supported

Bạn đang sử dụng trình duyệt chúng tôi không còn hỗ trợ. Để tiếp tục truy cập trang web của chúng tôi, vui lòng chọn một trong các trình duyệt được hỗ trợ sau.

Search Edwards Vacuum
Trang web này được dịch bằng trí tuệ nhân tạo.
Máy phân tích khí dư

Trong nhiều ngành công nghiệp, công nghệ phát hiện rò rỉ rất quan trọng đối với thành công của dự án. Ví dụ, trong ngành công nghiệp không gian, các công cụ phát hiện giúp xác định các rò rỉ nguy hiểm có thể gây ra thay đổi nhiệt độ nhanh chóng và mất oxy trong phi thuyền. 

Nhiều kỹ sư sử dụng Máy phân tích khí dư (RGA) để đánh giá tình trạng rò rỉ của buồng chân không.

Ở đây, chúng tôi so sánh RGA với máy dò rò rỉ trước khi khám phá xem bạn có nên sử dụng RGA cho dự án của mình hay không.

Máy phát hiện rò rỉ chân không hoạt động như thế nào?

Máy phát hiện rò rỉ xác định, phân tích và đo bất kỳ khí nào đi vào hoặc thoát ra khỏi một không gian kín hoặc hệ thống áp suất.

Máy dò rò rỉ có khả năng phát hiện nguồn rò rỉ và tốc độ các chất xâm nhập hoặc thoát khỏi hệ thống.

Hầu hết các bộ phát hiện rò rỉ đều được điều chỉnh và đo sự hiện diện của heli và có công nghệ chân không tích hợp. Để đo heli, các máy dò này sử dụng quang phổ ion lệch 180°. Các hạt ion hóa trong chân không được tăng tốc và thêm điện áp vào các hạt được tách ra, hoặc chọn lọc, trong từ trường, biến các ion thành dòng điện.

Máy phân tích khí dư hoạt động như thế nào?

Trong khi máy dò rò rỉ tìm kiếm heli, RGA được sử dụng trong chân không cao để tìm kiếm tất cả các khí trong một không gian.

Nói chung, RGA bao gồm ba thành phần sau: 

  • Nguồn ion - nguồn ion biến tất cả khí trong chân không thành ion. Điều này đạt được thông qua phát xạ electron từ sợi nóng. Chúng tăng tốc về phía nguồn bằng cách sử dụng độ lệch điện. Các electron di chuyển nhanh va chạm với các phân tử khí, làm dịch chuyển và ion hóa các phân tử. 
  • Bộ lọc khối lượng - đây là mảng tứ cực bao gồm bốn thanh thép không gỉ. Tứ cực thay đổi điện áp để ưu tiên các ion có tỷ lệ khối lượng/điện tích nhất định để cắt ngang mảng tứ cực khi phát hiện sự hiện diện của chúng. 
  • Máy dò - các ion bên trong bộ lọc va chạm với một tấm kim loại được gọi là máy dò, hoặc cốc Faraday. Các ion bị trung hòa khi các electron chuyển đổi thành tín hiệu điện. Dòng điện thu được khớp với dòng điện của ion đi vào. Một nhân tố bầu cử khuếch đại tín hiệu và cảnh báo các nhà nghiên cứu về sự hiện diện của họ. Bộ khuếch đại này cực kỳ có giá trị, vì nó giúp phát hiện các khí ở mức thấp mà nếu không sẽ không bị phát hiện.

Sự khác biệt giữa RGA và máy dò rò rỉ là gì?

Cả máy dò rò rỉ và RGA đều là máy đo quang phổ khối lượng.

Tuy nhiên, RGA không được xây dựng với hệ thống chân không riêng. Vì vậy, RGA phải được hỗ trợ trong chân không. 

Ưu điểm của việc sử dụng RGA là chúng phát hiện các loại khí khác nhau, trong khi máy dò rò rỉ chỉ phát hiện heli (hoặc đôi khi là hydro).

Khả năng phân biệt giữa các loại khí rất có giá trị khi xử lý khí phân tán trên một diện tích lớn. Trong những trường hợp này, bạn càng có thể phát hiện nhiều loại khí, thì càng dễ xác định nguồn rò rỉ.

Khi nào bạn nên sử dụng RGA?

Bằng cách phát hiện tất cả các khí, RGA cung cấp thông tin cụ thể về những gì đi vào và đi ra khỏi hệ thống. Đối với các hệ thống phức tạp, lớn hoặc dung sai thấp, thông tin này có thể là chìa khóa để đạt được điều kiện chân không lý tưởng.

Ví dụ, ngành công nghiệp dệt may thường sử dụng lắng đọng hơi vật lý (PVD) để tạo ra lớp phủ. Có một RGA giúp các kỹ sư biết liệu họ có đang đưa vào sự kết hợp phù hợp của các yếu tố cho các quy trình yêu cầu hay không. 

Xem xét độ sâu thông tin lớn hơn mà RGA cung cấp, các tổ chức đang tìm cách cải thiện hiệu suất chân không của mình có thể được hưởng lợi từ công cụ này.

  ͏͏ ͏͏

Nhân viên Edwards đang đứng trong hành lang mỉm cười