Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
Edwards vákuummegoldások innovatív vékonyfilmes technológiákhoz
A vékonyfilmes bevonatolási technológia életünk minden területén nagyon fontos részévé vált, legyen szó fogyasztói alkalmazásokról, például szemüvegekről vagy keretekről, mobiltelefonokról, kameralencsékről, élelmiszert szolgáló fémtasakokról, ajtókilincsekről, dekoratív figurákról vagy ipari alkalmazásokról a napelemek gyártásában a fényenergia megtartása érdekében, valamint elektronikus áramkörök gyártásában. A használat széles körben elterjedt, és számos mindennapi tárgy esetében támogatja a funkciót.
A lista végtelen, és rendszeresen új eljárásokat fedeznek fel a fémek, vegyületek vagy oxidok lerakódására olyan szubsztrátumokon, mint a fémek, műanyagok vagy kerámiák, valamint ezeknek a hordozóknak a felületi tulajdonságainak megváltoztatása, valamint az olyan tulajdonságok megváltoztatása, mint az áteresztőképesség, a visszaverődés, a keménység, ellenállás, abszorpció, korrózió és elektromos viselkedés. Néhány példa az orvosi és környezeti érzékelők nagyobb pontosságára és érzékenységére, az alacsony emissziójú szemüvegekre, a tükröződéscsökkentő bevonatú szemüvegekre, az érintőképernyők ujjlenyomat-gátló bevonataira, védő (DLC) bevonatok autókamerákhoz, diffúziós gát élelmiszercsomagolásokhoz, víztaszító felületek, tribológiai bevonatok protézisekhez, élénk színek és grafikák az okostelefonokon és nagyobb hatékonyság a napelemek esetében.
Hogyan működik a vékonyfilmes bevonatolás?
A vékonyrétegű bevonatolási technikák egyszerűen feloszthatók fizikai és kémiai folyamatok között.
Fizikai gőzbevonatolás (PVD)
Ez magában foglalja az anyag szilárd állapotból történő elpárologtatását és a szubsztrátumra történő kondenzációt alacsonyabb hőmérsékleten. Ezek a folyamatok jellemzően nagyvákuumú környezetben zajlanak, ahol az elsődleges vákuumszivattyúkat másodlagos vákuumszivattyúkkal, például turbomolekuláris, kriogén vagy diffúziós szivattyúkkal kombinálják. A leszivattyúzási idő csökkentése és az átbocsátási képesség növelése érdekében a bevonókamrában további kriogén vízgőz-szivattyúzás, az úgynevezett PolycoldTM adható hozzá.
Röviden szólva, a PVD-eljárások főként a gőzölési technikától függenek:
- Ellenállásos hőforrás
- Elektronsugár
- Elektromos kisülés
- Magnetron-plazma fémbevonás
- Ionsugár-sputtering
A PVD bevonatok a konstrukciójuknak megfelelően is szegmentálhatók:
- Tételbevonók vagy dobozbevonók: a termékek betöltése és kirakodása minden felrakási folyamat után történik.
- Tekercsről tekercsre bevonó: egy forrás rugalmas tekercselt hordozóanyagot adagolnak folyamatosan a bevonatoló kamrába, majd visszatekernek egy külön tekercsre, majd a folyamat befejeztével kiveszik.
- Gyártósori bevonatolók: Valódi folyamatos bevonatolók nagy átbocsátási képességű alkalmazásokhoz, ahol a termék betöltésre kerül a behordó kamrába, más néven a behordó kamrába vagy a behordó zsilipbe, és kilép a kihordó kamrán, más néven a kihordó kamrákon keresztül.
Vegyi gőzbevonatolás (CVD)
Ez egy lerakódási technika, ahol a forrásanyagot, vagy prekurzort gázfázisban vezetik be a kamrába vagy a reaktorba, általában kémiailag reakcióba lépve más gázokkal, mielőtt a szubsztrátra kondenzálódna. Ezek a folyamatok jellemzően 10-3 mbar nyomáson zajlanak. A kémiai lerakódási folyamatok attól függenek, hogy a reakció hogyan indul el, egyszerű termikus reakció, vagy csökkentett nyomással (LPCVD), vagy plazma segítségével (PECVD vagy PACVD). Az atomréteg-bevonatolási (ALD) és a folyékony fázisú epitaxiás eljárások legutóbbi fejlesztései egyre nagyobb lendületet kaptak az elektronikai szektorban.
A vákuumtechnológia szerepe a vékonyfilmes bevonatolásban
A vákuumtechnológia kritikus fontosságú ezeknél a folyamatoknál, mivel ezeknek az anyagoknak a gőzeinek akadálytalanul és szennyeződések nélkül kell áramlaniuk az alacsony nyomású légkörbe és a szubsztrátumokra, vagy csak a plazma folyamatfeltételeinek lehetővé tételéhez. Ezért ezeknél a folyamatoknál rendkívül fontos a vákuumos légkör létrehozása és a nyomások monitorozása.
Az Edwards az évek során a vékonyfilmes iparág éllovasaként folyamatosan fejlesztett vákuummegoldások széles skáláját - elsődleges vákuumszivattyú-rendszereket, másodlagos vákuumszivattyúkat, vákuummérőket, maradékgáz-analizátorokat -, hogy megfeleljen a különböző bevonatolási folyamatok szigorú követelményeinek. Legyen szó az üveg- és napenergia-bevonatolási folyamatok által megkövetelt gyors szivattyúzási ciklusok kezeléséről vagy az ALD vagy LPE alkalmazások zord folyamatainak kezeléséről, vákuummegoldásainkat az Ön igényeinek megfelelően optimalizáltuk.
Tekintse meg az Edwards precíziós vákuummegoldásait a vékonyfilmes bevonatolási folyamatokhoz
- Dokumentumok
- Kapcsolódó termékek
