Ở chân không cao và siêu cao, áp suất cuối đạt được bởi hệ thống bơm turbo phân tử bị giới hạn bởi các điều kiện ở cả đầu vào và đầu ra.
Lý do là gì ư?
Tải quy trình trong hệ thống chân không
Các tải quy trình trong hệ thống chân không có thể được tóm tắt trong sơ đồ dưới đây:
- Tải trọng quy trình
- Hệ thống xả
- Rò rỉ
- Phản hồi lại
- Khí ban đầu
Trong HV, UHV và XHV, tải khí chủ yếu là từ sự thoát khí
... thường là tổng hợp của:
- Khử hấp thụ bề mặt
- Khuếch tán khối lượng lớn thành buồng
- Thẩm thấu khí quyển bên ngoài
- Độ thẩm thấu
- Bề mặt bên ngoài
- Bề mặt bên trong
- Phân phối
- Bình xịt hơi
- Khử hấp thụ
Trong các phạm vi chân không này, có một mối liên hệ với 'tải quy trình'
Ví dụ: trong các máy gia tốc/máy va chạm, nơi bề mặt 'kích thích khử hấp' từ tác động của electron, photon và ion có thể là một nguồn khí đáng kể.
Tổng áp suất hoặc áp suất cuối cùng P tot trên bơm turbo phân tử là:
trong đó PTi là áp suất một phần của khí ith; áp suất này được xác định bởi áp suất một phần của đường dẫn ngược của bơm turbo phân tử (P Tbi ) thông qua Tỷ lệ nén (CRi ) của bơm turbo phân tử cho mỗi khí ith.
Khử khí (và các nguồn khí khác) trong buồng khí cung cấp thêm tải trọng PQi.
trong đó Qi là tải khí của khí ith và Si là tốc độ của bơm phân tử turbo cho khí ith.
Tuy nhiên, có những yếu tố phức tạp...
PQi và PTi phụ thuộc vào chức năng vì:
Si và CRi đều phụ thuộc vào áp suất và lưu lượng đầu vào và phía trước
trong đó So là tốc độ dòng chảy bằng không và Kmax là tỷ lệ nén dòng chảy bằng không. Do đó, bỏ qua quá trình thoát khí và các tải khí khác, áp suất cuối dự kiến là:
Tải tài liệu ứng dụng đầy đủ
Sản phẩm của chúng tôi
