Độ nhạy khí của đồng hồ đo chân không

Kỷ luật chân không gần như độc đáo trong việc có phạm vi động từ 15 đơn vị trở lên trong ứng dụng của nó.

Giống như với bơm, không có một cơ chế đo nào có thể trải rộng phạm vi này. Có nhiều khía cạnh và biến số bổ sung cần xem xét khi chọn máy đo.

Bao gồm:

• Các thông số kỹ thuật như độ chính xác/độ không đảm bảo (phạm vi sai số hệ thống)
• Độ chính xác (mức sai số ngẫu nhiên)
• Độ phân giải
• Phạm vi đo lường
• Độ tuyến tính của đầu ra
• Khả năng lặp
• Độ bền (tương thích quy trình, khả năng chống bức xạ và từ trường)
• Thời gian phản hồi 

Ngoài ra, kích thước, giao thức giao tiếp và chi phí đều có ảnh hưởng đến sự lựa chọn.

Đồng hồ đo trực tiếp hoặc đồng hồ đo cơ học được gọi là vì chúng đo áp suất 'trực tiếp' dưới dạng lực trên mỗi đơn vị diện tích (của một khu vực rắn hoặc lỏng).

Đây là các máy đo áp suất 'Total' (Định luật Dalton: Tổng áp suất của hỗn hợp khí = ∑ áp suất riêng phần của mỗi khí) và bao gồm máy đo áp suất ống chữ U và màng điện dung và máy đo Bourdon.

Máy đo gián tiếp thường là máy đo thực tế và được sử dụng nhiều nhất và đo một đặc tính vật lý phụ thuộc vào áp suất của khí, ví dụ như độ dẫn nhiệt hoặc độ nhớt, hoặc một lượng vật lý tỷ lệ với mật độ số.

Các máy đo Tổng Áp suất này bao gồm Pirani, Bayard-Alpert Hot Cathode Ionization (BAG), Penning và Spinning Rotor Gauges. Có thể sử dụng máy đo áp suất một phần (Máy phân tích khí dư) dựa vào ion hóa để phân tích các thành phần tương đối của chân không.

Để nghiên cứu sâu hơn, bạn có thể đọc tài liệu ' Các hệ số điều chỉnh khí cho máy đo áp suất chân không ' từ thư viện trực tuyến Wiley.