Hệ số hiệu chuẩn cho máy đo áp suất chân không

Các yếu tố như khả năng lặp lại của máy đo, độ chính xác, độ ổn định, độ phân giải, độ tuyến tính, thời gian phản hồi, phạm vi động và độ bền cũng như chi phí đều là những cân nhắc quan trọng khi chọn máy đo.

Đồng hồ đo chân không là Tổng - tổng áp suất là tổng áp suất một phần của mỗi khí: Định luật Dalton.

Một phần đo áp suất (một phần) của từng loại khí.

Ngoài ra, máy đo tuyệt đối được gọi là 'chính' vì chúng có thể được hiệu chuẩn từ các đặc tính vật lý riêng của chúng hoặc 'phụ' cho các máy đo không thể thực hiện được và yêu cầu hiệu chuẩn riêng.

Máy đo cũng có thể được chia thành hai nhóm nguyên tắc: máy đo đo áp suất trực tiếp (lực tác dụng bởi các phân tử khí va chạm) và máy đo đo áp suất gián tiếp bằng cách đo các đặc tính của khí thay đổi theo áp suất. Đồng hồ đo gián tiếp phải được hiệu chuẩn (hoặc điều chỉnh các chỉ số của chúng) cho khí cụ thể hiện diện - do đó các chỉ số của chúng "phụ thuộc vào loại khí". Đồng hồ đo trực tiếp có sẵn trên thị trường có giới hạn dưới thực tế là 10 ^-4 mbar vì vậy việc sử dụng đồng hồ đo gián tiếp là cần thiết ở các áp suất này và thấp hơn.

Dụng cụ đo trực tiếp còn được chia nhỏ hơn thành những dụng cụ có chênh lệch giữa áp suất đo được và một tham chiếu thay thế một thành phần chất lỏng hoặc đàn hồi/cơ học.

Máy đo gián tiếp thường được hiệu chuẩn cho nitơ. Ví dụ: nếu độ nhạy đối với nitơ là S_N2 và áp suất được chỉ định (đo) = P_N2 thì nếu khí được biết thì áp suất khí thực tế (= _khíP ) là:

_Khí S = độ nhạy tương đối đối với khí.

Trong trường hợp S_N2 = 1 thì đơn giản là

Khi có nhiều loại khí, tình huống sẽ trở nên phức tạp. Trong trường hợp đầu tiên, phần trăm thành phần của khí cần được biết.

Sau đó, từ nguyên tắc đầu tiên cho một loạt các thành phần khí, trong đó r_i = P_i /P_N2 là thành phần tương đối của khí ith và độ nhạy tương đối của khí ith là si = P chỉ _{định (N2)} /P _đúng , mối quan hệ giữa áp suất 'đúng' (hoặc thực tế) và áp suất chỉ định được đưa ra bởi: