Trong sách văn Khoa học chân không, các khóa đào tạo và trí tuệ đã được truyền qua các thế hệ, v.v. chúng tôi được hướng dẫn rằng 'tất cả các kết nối chân không phải ngắn và rộng nhất có thể'.
Nhưng điều gì sẽ xảy ra nếu chúng ta không làm điều này? Hậu quả của việc không tuân thủ là gì?
Độ dẫn điện trong công nghệ chân không là gì?
Trong thuật ngữ chân không, độ dẫn điện C giữa hai điểm được định nghĩa là lưu lượng khí Q (thông qua một thành phần) chia cho sụt áp suất (ΔP ) xuyên qua nó, trong đó P lên là áp suất phía trên của hệ thống và P xuống là áp suất phía dưới:
(S là tốc độ bơm ở bất kỳ điểm nào trong hệ thống chân không.)
Các cơ chế dòng khí có thể được chia thành các chế độ khác nhau: liên tục (trong đó sự va chạm giữa phân tử chi phối hành vi), phân tử (sự va chạm giữa thành phân tử chi phối hành vi) và chế độ dòng chảy chuyển tiếp giữa hai chế độ này.
Điều này được minh họa dưới đây (đối với không khí ở 293K) trong đó độ dẫn điện của một đường ống dài 1 mét được vẽ cho các đường kính khác nhau và độ dẫn điện áp suất thay đổi theo 1/chiều dài đối với đường ống dài.
Độ dẫn điện cho chiều dài ống 1 mét
- Đối với dòng phân tử: độ dẫn điện không phụ thuộc vào áp suất (ở đây <~ 0,01 mbar)
- Đối với dòng chảy liên tục: độ dẫn điện là một hàm tuyến tính của áp suất (ở đây >~ 1 mbar) và dòng chảy chuyển tiếp và là 'hỗn hợp' của các phụ thuộc vào áp suất cực cao.
Điều này có nghĩa là gì trong thế giới chân không thực tế?
Chúng ta có thể minh họa bằng cách xem xét một vài ví dụ.
1. Ảnh hưởng đến tốc độ bơm ròng của bơm xoắn ốc XDS35i với đường thẳng đầu vào 5m NW40 với 2 uốn cong là gì?
Đối với không khí ở 293K
2. Hệ thống có van cổng
Hãy xem xét một hệ thống có bơm phân tử turbo (TMP) được kết nối trực tiếp với buồng thông qua van cổng ISO100 (có độ dẫn điện phân tử tương đối lớn ~ 1.700 l/giây).
Biểu đồ dưới đây thể hiện tốc độ hệ thống ròng (SUp) với phạm vi tốc độ TMP (SDown); mất điện dẫn nhỏ trong điều kiện dòng phân tử.
Tải tài liệu ứng dụng đầy đủ
