Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
Rozwiązania próżniowe firmy Edwards dla innowacyjnych technologii cienkowarstwowych
Technologia cienkowarstwowa stała się bardzo ważną częścią naszego życia we wszystkich aspektach, niezależnie od tego, czy chodzi o zastosowania konsumenckie, takie jak okulary lub oprawki, telefony komórkowe, obiektywy kamer, metalizowane torebki do serwowania żywności, gałki drzwiowe, dekoracyjne figurki czy zastosowania przemysłowe w produkcji paneli słonecznych do zatrzymywania energii świetlnej, a także w produkcji obwodów elektronicznych. Zastosowanie jest szeroko rozpowszechnione i wspiera wiele przedmiotów codziennego użytku.
Lista jest nieograniczona, a regularnie odkrywane są nowe procesy osadzania metali, związków lub tlenków na podłożach, takich jak metale, tworzyw sztucznych lub ceramiki i modyfikacji właściwości powierzchni tych podłoży oraz zmiany właściwości takich jak przepuszczalność, odbicie, twardość, rezystancja, absorpcja, korozja i zachowanie elektryczne. Niektóre przykłady obejmują zwiększoną dokładność i czułość czujników medycznych i środowiskowych, okulary niskoemisyjne, okulary z powłokami antyrefleksyjnymi, powłoki antyodciskowe do ekranów dotykowych, powłoki ochronne (DLC) do kamer samochodowych, bariera dyfuzyjna do opakowań żywności, powierzchnie wodoodporne, powłoka tribologiczna do protez, żywe kolory i grafika na smartfonach oraz wyższa wydajność paneli słonecznych.
Jak działa powłoka cienkowarstwowa?
Techniki nanoszenia cienkich warstw można w prosty sposób podzielić na procesy fizyczne i chemiczne.
Fizyczne napawanie parowe (PVD)
Obejmuje to odparowanie materiału ze stanu stałego i kondensację na podłożu w niższej temperaturze. Procesy te zazwyczaj odbywają się w środowisku wysokopróżniowym, w którym główne pompy próżniowe są łączone z wtórnymi pompami próżniowymi, takimi jak pompy turbomolekularne, kriogeniczne lub dyfuzyjne. Aby skrócić czas odpompowywania i zwiększyć wydajność, w komorze powlekania można dodać dodatkowe kriogeniczne pompowanie pary wodnej, tzw. PolycoldTM .
Mówiąc w skrócie, w zależności od techniki odparowywania występują różne procesy PVD:
- Źródło ciepła rezystancyjnego
- Wiązka elektronów
- Wyładowanie łukowe
- Magnetronowe rozpylanie plazmowe
- Rozpylanie wiązką jonową
Powłoki PVD można również podzielić na segmenty w zależności od ich konstrukcji:
- Powlekarki wsadowe lub powlekarki pudełkowe: produkty są ładowane i rozładowywane po każdym procesie nanoszenia.
- Powlekarka z rolki na rolkę: źródło elastycznego podłoża walcowanego jest stale podawane do komory procesu powlekania, a następnie nawijane na oddzielną rolkę, a następnie wyjmowane po zakończeniu procesu.
- Powlekarki liniowe: prawdziwe powlekarki ciągłe do zastosowań wymagających wysokiej wydajności produkcyjnej, w których produkt jest załadowywany do komory wejściowej, zwanej również komorą załadunkową lub śluzą załadunkową, a następnie wyprowadzany przez komorę wyjściową, zwaną również komorami rozładunkowymi.
Osuszanie chemiczne (CVD)
Jest to technika osadzania, w której materiał źródłowy lub prekursor jest wprowadzany do komory lub reaktora w fazie gazowej, zazwyczaj wchodzącej w reakcję chemiczną z innymi gazami przed kondensacją na podłożu. Procesy te zazwyczaj odbywają się przy ciśnieniu 10-3 mbar i wyższym. Procesy osadzania chemicznego zależą od tego, w jaki sposób reakcja jest możliwa, od prostej reakcji termicznej, wspomaganej zredukowanym ciśnieniem (LPCVD) lub wspomaganej plazmą (PECVD lub PACVD). Niedawne postępy w procesach depozytu warstw atomowych (ALD) i epitaksji fazy ciekłej nabierają tempa w sektorze elektronicznym.
Rola technologii próżniowej w powlekaniu cienkowarstwowym
Technologia próżniowa ma kluczowe znaczenie dla tych procesów, ponieważ opary tych materiałów muszą przepływać bez przeszkód i zanieczyszczeń do atmosfery niskiego ciśnienia i na podłoża lub po prostu umożliwiać warunki procesu dla plazmy. Dlatego wytwarzanie atmosfery próżniowej i monitorowanie ciśnień są niezwykle ważne dla tych procesów.
Firma Edwards jest w czołówce branży cienkowarstwowej, stale rozwijając szeroką gamę rozwiązań próżniowych - główne systemy pomp próżniowych, wtórne pompy próżniowe, manometry próżniowe, analizatory gazów resztkowych - w celu spełnienia surowych wymagań różnych procesów powlekania. Niezależnie od tego, czy chodzi o zarządzanie szybkimi cyklami pompowania wymaganymi w procesie powlekania szkła i energii słonecznej, czy też o zarządzanie trudnymi procesami w zastosowaniach ALD lub LPE, mamy zoptymalizowane rozwiązania próżniowe, aby spełnić Twoje wymagania.
Precyzyjne rozwiązania próżniowe firmy Edwards do procesów powlekania cienkowarstwowego
- Dokumenty
- Powiązane produkty
