Your browser is not supported

Korzystasz z przeglądarki, której już nie obsługujemy. Naszą witrynę internetową można wyświetlić w jednej z następujących przeglądarek.

Search Edwards Vacuum
Ez a weboldal mesterséges intelligenciával lett lefordítva.
Powlekanie cienkowarstwowe

Rozwiązania próżniowe firmy Edwards dla innowacyjnych technologii cienkowarstwowych

Technologia cienkowarstwowa stała się bardzo ważną częścią naszego życia we wszystkich aspektach, niezależnie od tego, czy chodzi o zastosowania konsumenckie, takie jak okulary lub oprawki, telefony komórkowe, obiektywy kamer, metalizowane torebki do serwowania żywności, gałki drzwiowe, dekoracyjne figurki czy zastosowania przemysłowe w produkcji paneli słonecznych do zatrzymywania energii świetlnej, a także w produkcji obwodów elektronicznych. Zastosowanie jest szeroko rozpowszechnione i wspiera wiele przedmiotów codziennego użytku. 

Powlekanie cienkowarstwowe

Lista jest nieograniczona, a regularnie odkrywane są nowe procesy osadzania metali, związków lub tlenków na podłożach, takich jak metale, tworzyw sztucznych lub ceramiki i modyfikacji właściwości powierzchni tych podłoży oraz zmiany właściwości takich jak przepuszczalność, odbicie, twardość, rezystancja, absorpcja, korozja i zachowanie elektryczne. Niektóre przykłady obejmują zwiększoną dokładność i czułość czujników medycznych i środowiskowych, okulary niskoemisyjne, okulary z powłokami antyrefleksyjnymi, powłoki antyodciskowe do ekranów dotykowych, powłoki ochronne (DLC) do kamer samochodowych, bariera dyfuzyjna do opakowań żywności, powierzchnie wodoodporne, powłoka tribologiczna do protez, żywe kolory i grafika na smartfonach oraz wyższa wydajność paneli słonecznych. 

Jak działa powłoka cienkowarstwowa?

Techniki nanoszenia cienkich warstw można w prosty sposób podzielić na procesy fizyczne i chemiczne. 

Osadzenie fizyczne i chemiczne

Fizyczne napawanie parowe (PVD)

Obejmuje to odparowanie materiału ze stanu stałego i kondensację na podłożu w niższej temperaturze. Procesy te zazwyczaj odbywają się w środowisku wysokopróżniowym, w którym główne pompy próżniowe są łączone z wtórnymi pompami próżniowymi, takimi jak pompy turbomolekularne, kriogeniczne lub dyfuzyjne. Aby skrócić czas odpompowywania i zwiększyć wydajność, w komorze powlekania można dodać dodatkowe kriogeniczne pompowanie pary wodnej, tzw. PolycoldTM .

 

Mówiąc w skrócie, w zależności od techniki odparowywania występują różne procesy PVD:

  • Źródło ciepła rezystancyjnego
  • Wiązka elektronów
  • Wyładowanie łukowe
  • Magnetronowe rozpylanie plazmowe
  • Rozpylanie wiązką jonową

 

Powłoki PVD można również podzielić na segmenty w zależności od ich konstrukcji:

  • Powlekarki wsadowe lub powlekarki pudełkowe: produkty są ładowane i rozładowywane po każdym procesie nanoszenia.
  • Powlekarka z rolki na rolkę: źródło elastycznego podłoża walcowanego jest stale podawane do komory procesu powlekania, a następnie nawijane na oddzielną rolkę, a następnie wyjmowane po zakończeniu procesu.
  • Powlekarki liniowe: prawdziwe powlekarki ciągłe do zastosowań wymagających wysokiej wydajności produkcyjnej, w których produkt jest załadowywany do komory wejściowej, zwanej również komorą załadunkową lub śluzą załadunkową, a następnie wyprowadzany przez komorę wyjściową, zwaną również komorami rozładunkowymi.

Osuszanie chemiczne (CVD)

Jest to technika osadzania, w której materiał źródłowy lub prekursor jest wprowadzany do komory lub reaktora w fazie gazowej, zazwyczaj wchodzącej w reakcję chemiczną z innymi gazami przed kondensacją na podłożu. Procesy te zazwyczaj odbywają się przy ciśnieniu 10-3 mbar i wyższym. Procesy osadzania chemicznego zależą od tego, w jaki sposób reakcja jest możliwa, od prostej reakcji termicznej, wspomaganej zredukowanym ciśnieniem (LPCVD) lub wspomaganej plazmą (PECVD lub PACVD). Niedawne postępy w procesach depozytu warstw atomowych (ALD) i epitaksji fazy ciekłej nabierają tempa w sektorze elektronicznym.

Rola technologii próżniowej w powlekaniu cienkowarstwowym

Technologia próżniowa ma kluczowe znaczenie dla tych procesów, ponieważ opary tych materiałów muszą przepływać bez przeszkód i zanieczyszczeń do atmosfery niskiego ciśnienia i na podłoża lub po prostu umożliwiać warunki procesu dla plazmy. Dlatego wytwarzanie atmosfery próżniowej i monitorowanie ciśnień są niezwykle ważne dla tych procesów.

 

Firma Edwards jest w czołówce branży cienkowarstwowej, stale rozwijając szeroką gamę rozwiązań próżniowych - główne systemy pomp próżniowych, wtórne pompy próżniowe, manometry próżniowe, analizatory gazów resztkowych - w celu spełnienia surowych wymagań różnych procesów powlekania. Niezależnie od tego, czy chodzi o zarządzanie szybkimi cyklami pompowania wymaganymi w procesie powlekania szkła i energii słonecznej, czy też o zarządzanie trudnymi procesami w zastosowaniach ALD lub LPE, mamy zoptymalizowane rozwiązania próżniowe, aby spełnić Twoje wymagania. 

Precyzyjne rozwiązania próżniowe firmy Edwards do procesów powlekania cienkowarstwowego

 

 

Pracownicy Edwards stojący na korytarzu z uśmiechem