Đồng hồ đo áp suất trực tiếp

Máy đo áp suất điện dung Barocel® 7025 của Edwards

Độ chính xác và độ tin cậy trong giám sát áp suất

Khám phá vai trò quan trọng của máy đo áp suất trực tiếp trong việc đạt được chỉ số chính xác trong nhiều ứng dụng khác nhau. Việc chọn đúng máy đo cho nhu cầu của bạn là rất quan trọng.

Khám phá cách màng ngăn và áp kế điện dung tiên tiến của chúng tôi có thể nâng cao hiệu suất và độ tin cậy của hệ thống của bạn.

Đồng hồ đo áp suất trực tiếp: đạt được chỉ số áp suất chính xác, bất kể thành phần khí.

Những máy đo này không thể thiếu trong nhiều ứng dụng khác nhau, từ quy trình công nghiệp đến nghiên cứu khoa học. Lựa chọn của chúng tôi tập trung vào các máy đo màng, được biết đến với độ nhạy cao. Trong các máy đo này, màng tiếp xúc với môi trường chân không bị lệch một lượng khác nhau tùy thuộc vào áp suất khí, với độ lệch này được sử dụng để có được chỉ số áp suất rất chính xác.

Hiểu các yêu cầu ứng dụng cụ thể, điều kiện môi trường và phạm vi áp suất là điều cần thiết để lựa chọn máy đo phù hợp.

Dụng cụ đo màng ASG2

Máy đo biến dạng chủ động (ASG2) sử dụng công nghệ màng tiên tiến để cung cấp các phép đo áp suất chính xác, độc lập với khí.

Với thiết kế chắc chắn, chống ăn mòn, máy đo này được chế tạo để chịu được môi trường khắc nghiệt và cung cấp hiệu suất đáng tin cậy trong phạm vi áp suất từ 2000 mbar đến 1 mbar.

Được thiết kế để linh hoạt, ASG2 có thể hoạt động như một bộ chuyển đổi độc lập, hoặc có thể được sử dụng với một trong các dòng bộ điều khiển của chúng tôi, tạo điều kiện kết hợp với các loại cảm biến khác nhau để tạo ra một giải pháp thiết bị chân không toàn diện.

Với bộ truyền động điện tử tích hợp, thiết kế hệ thống được đơn giản hóa và tiết kiệm không gian.

Với độ chính xác và độ ổn định cao, ASG2 lý tưởng để giám sát các hệ thống bơm chậm, cung cấp giải pháp đáng tin cậy cho các nhu cầu thiết bị chân không khác nhau.

Máy đo biến dạng chủ động ASG2

Đồng hồ đo áp suất điện dung Barocel

Được thiết kế cho những môi trường sản xuất hiện đại phức tạp, Barocel® 7000 Series cung cấp phép đo áp suất chính xác, bù nhiệt độ. Các máy đo này được trang bị thiết bị điện tử kỹ thuật số tiên tiến giúp nâng cao hiệu suất và cung cấp các tính năng thân thiện với người dùng, chẳng hạn như chức năng điều chỉnh về 0 bằng một nút bấm và các điểm đặt có thể điều chỉnh. Cảm biến gốm chống ăn mòn đảm bảo độ ổn định vượt trội và được thiết kế để có độ bền cao, chịu được hàng triệu chu kỳ áp suất và thay đổi đột ngột về áp suất khí quyển.

Máy đo áp suất điện dung của chúng tôi được xây dựng với thiết kế cơ khí mạnh mẽ giúp tăng cường khả năng tương thích điện từ, đảm bảo độ ổn định lâu dài và bù nhiệt độ vượt trội. Dòng sản phẩm này xuất sắc trong việc ổn định nhanh sau khi bật nguồn và phục hồi nhanh chóng từ các đỉnh áp suất khí quyển.

Đối với các ứng dụng dễ bị ngưng tụ, các phiên bản áp kế Barocel® làm nóng của chúng tôi cung cấp sự bảovệ bổ sung, duy trì các phép đo rõ ràng và chính xác trong các điều kiện nhiệt độ khác nhau.

Máy đo áp suất điện dung Barocel® 7025 của Edwards - góc phải

Đồng hồ đo áp suất điện dung Barocel® 7025

Lợi ích của Barocel

Phạm vi đầy đủ từ 100 mTorr đến 1000 Torr.
Ổn định nhanh sau khi bật nguồn.
Phục hồi nhanh chóng từ áp suất khí quyển.
Cảm biến gốm chống ăn mòn cho độ tin cậy lâu dài.
Tăng cường độ ổn định tín hiệu lâu dài.
Bù nhiệt độ.
Bảo vệ cảm biến tiên tiến chống nhiễm bẩn.
Vận hành đơn giản với chức năng điều chỉnh về 0 chỉ bằng một nút.
Tương thích với nhiều loại nguồn điện.

Dòng Barocel® 7000 thiết lập tiêu chuẩn mới về độ chính xác và độ tin cậy cho công nghệ áp kế điện dung, đảm bảo các quy trình của bạn được đo chính xác và hiệu quả.

Mục đích sử dụng

Thiết bị sản xuất chất bán dẫn cho Etch, CVD, PVD, ALD
Thiết bị sản xuất lưu trữ dữ liệu và hiển thị
Thiết bị chân không công nghiệp
Phép đo áp suất chính xác cao nói chung

Bạn có cần hiển thị và điều khiển hệ thống cục bộ không?

Nếu bạn cần một màn hình cục bộ cho các đồng hồ đo này, chúng tôi cung cấp một biến thể đặc biệt của bộ điều khiển TIC có thể hoạt động với tất cả các đồng hồ đo Barocel, cùng với các đồng hồ đo chủ động tiêu chuẩn của chúng tôi.

Với khả năng kết nối tổng cộng 6 đồng hồ đo cùng một lúc (tối đa 3 đồng hồ đo Barocel tùy thuộc vào gia nhiệt/không gia nhiệt), bạn có thể bao phủ nhiều khu vực của hệ thống với một bộ điều khiển duy nhất.)