Påskynda integrationen och förbättra systemdriften
Edwards CTI-Cryogenics On-Board vakuumpumpar snabbar upp integrationen och förbättrar systemets funktion – kända som världens standard för driftsäkerhet och prestanda.
Inbyggda kryopumpar, med fullt integrerad styrning och stödjande kringutrustning, levererar överlägsen drifttid och konsekvent prestanda för att öka den totala verktygseffektiviteten och drifttiden.
Huvudfunktioner
- Fast Regen™-funktion som förlänger kryopumpsprestandan mellan regenereringar
- Samtidig regenereringskapacitet, möjliggjord genom nätverk av dina kryopumpar, som påskyndar den övergripande systemregenereringen
- En inbyggd mikroprocessorstyrning för att förbättra prestanda, utföra diagnostiska rutiner och tillhandahålla kommunikationsmöjligheter
- Sofistikerad programvara och användarvänliga grafiska användargränssnitt för att avsevärt förbättra prestanda och drift
- Specifikation/en
| Ombord Kryopumpsmodell | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Pumpningshastigheter - liter/sek. | ||||||||
| Vattenånga | 1 100 | 4 000 | 4 000 | 9 000 | 9 500 | 6 500 | 17 500 | 30 000 |
| Luft | 370 | 1 500 | 1 500 | 3 000 | 3 600 | 2 200 | 6 000 | 10 000 |
| Väte | 370 | 2 500 | 2 200 | 5 000 | 6 000 | 3 200 | 12 000 | 12 000 |
| Argon | 310 | 1 200 | 1 200 | 2 500 | 3 000 | 1 800 | 5 000 | 8 400 |
| Kapacitet - std. liter | ||||||||
| Argon | 210 | 1 000 | 1 000 | 2 000 | 2 000 | 1 000 | 2 500 | 6 000 |
| Väte (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Nominal regenereringstid (kall till kall) | ||||||||
| Första och andra steget | 75 min | 2,5 tim | 2,5 tim | 2,5 timmar | 2,5 tim | <3,3 timmar | 3 timmar | <3,8 tim |
| Andra steget | <1 tim | <1 tim | <1 tim | <1 tim | <1 tim | <1,5 tim | <1,5 tim | - |
