Your browser is not supported

U gebruikt een browser die we niet langer ondersteunen. Kies een van de volgende ondersteunde browsers om onze website te blijven bezoeken.

Nieuw etiket voor interne cryopompen

Versnel de integratie en verbeter de systeemwerking

Edwards CTI-Cryogenics On-Board vacuümpompen versnellen de integratie en verbeteren de werking van het systeem – bekend als de wereldstandaard voor betrouwbaarheid en prestaties.

Ingebouwde cryopompen, met volledig geïntegreerde bedieningselementen en ondersteunende randapparatuur, leveren een superieure uptime en consistente prestaties om de algehele productiviteit en uptime van het gereedschap te verhogen.

Edwards CTI-Cryogenics On-Board cryopump reference image

Belangrijkste kenmerken

  • Fast Regen™-functie die de prestaties van de cryopomp tussen regeneraties uitbreidt
  • Gelijktijdige regeneratiecapaciteit, mogelijk gemaakt door het netwerken van uw cryopompen, die de algehele systeemregeneratie versnelt
  • Een ingebouwde microprocessorbesturing om de prestaties te verbeteren, diagnostische routines uit te voeren en communicatiemogelijkheden te bieden
  • Geavanceerde software en gebruiksvriendelijke grafische gebruikersinterfaces voor een aanzienlijke verbetering van de prestaties en werking
Ingebouwd cryopompmodel 4F 8 8F 10 10F 250F 400 5
Pompsnelheden – liter/s
Waterdampen 1100 4000 4000 9000 9.500 6500 17.500 30.000
Lucht 370 1500 1500 3000 3600 2200 6000 10000
Waterstof 370 2500 2200 5000 6000 3200 12.000 12.000
Argon 310 1200 1200 2500 3000 1.800 5000 8.400
Capaciteit – standaard liter
Argon 210 1000 1000 2000 2000 1000 2500 6000
Waterstof (5x10 -6 Torr) 3 17 12 24 24 -16 42 45
Nominale regeneratietijd (koud naar koud)
Eerste en tweede fase 75 min 2,5 uur 2,5 uur 2,5 uur 2,5 uur <3,3 uur 3 uur <3,8 uur
Tweede fase <1 uur <1 uur <1 uur <1 uur <1 uur <1,5 uur <1,5 uur -