Acelerar a integração e melhorar a operação do sistema
As bombas de vácuo a bordo CTI-Cryogenics da Edwards aceleram a integração e melhoram o funcionamento do sistema - conhecidas como o padrão mundial de fiabilidade e desempenho.
As bombas criogénicas integradas, com controlos totalmente integrados e periféricos de suporte, proporcionam um tempo de funcionamento superior e um desempenho consistente para aumentar a produtividade geral e o tempo de funcionamento das ferramentas.
Características principais
- Capacidade Fast Regen™ que prolonga o desempenho da bomba criogénica entre regenerações
- Capacidade de regeneração simultânea, ativada através da ligação em rede das suas bombas criogénicas, que acelera a regeneração geral do sistema
- Um controlo por microprocessador integrado para melhorar o desempenho, executar rotinas de diagnóstico e fornecer capacidade de comunicação
- Software sofisticado e interfaces gráficas de utilizador fáceis de utilizar para melhorar significativamente o desempenho e a operação
- Especificação do Produto
| Modelo de bomba criogénica integrado | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Velocidades de bombeamento - litros/seg. | ||||||||
| Vapor de água | 1.100 | 4.000 | 4.000 | 9000 | 9.500 | 6.500 | 17.500 | 30.000 |
| Ar | 370 | 1.500 | 1.500 | 3000 | 3.600 | 2200 | 6000 | 10.000 |
| Hidrogénio | 370 | 2500 | 2200 | 5.000 | 6000 | 3.200 | 12000 | 12000 |
| Árgon | 310 | 1200 | 1200 | 2500 | 3000 | 1.800 | 5.000 | 8.400 |
| Capacidade - litro padrão | ||||||||
| Árgon | 210 | 1.000 | 1.000 | 2.000 | 2.000 | 1.000 | 2500 | 6000 |
| Hidrogénio (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Tempo de regeneração nominal (frio a frio) | ||||||||
| Primeira e segunda fase | 75 min | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | <3,3 hrs | 3 horas | <3,8 horas |
| Segundo nível | <1 hr | <1 hr | <1 hr | <1 hr | <1 hr | <1,5 horas | <1,5 horas | - |
