Sisäisten kryopumppujen uusi tarra

Nopeuttaa integrointia ja parantaa järjestelmän toimintaa

Edwardsin CTI-Cryogenics On-Board -tyhjiöpumput nopeuttavat integrointia ja parantavat järjestelmän toimintaa – tunnetaan luotettavuuden ja suorituskyvyn maailmanstandardina.

Integroidut kryopumput, joissa on täysin integroidut ohjaimet ja oheislaitteet, tarjoavat ylivoimaisen käyttöajan ja tasaisen suorituskyvyn työkalun yleisen tuottavuuden ja käyttöajan lisäämiseksi.

Edwards CTI-Cryogenics On-Board cryopump reference image

Tärkeimmät ominaisuudet

  • Fast Regen™ -ominaisuus pidentää kryopumpun suorituskykyä regenerointien välillä
  • Samanaikainen regenerointimahdollisuus kryopumppujen verkottamisen ansiosta, mikä nopeuttaa järjestelmän kokonaisregenerointia
  • Sisäänrakennettu mikroprosessoriohjaus parantaa suorituskykyä, suorittaa diagnostiikkarutiineja ja mahdollistaa tiedonsiirron
  • Edistynyt ohjelmisto ja helppokäyttöiset graafiset käyttöliittymät parantavat suorituskykyä ja toimintaa merkittävästi
Sisäinen kryopumppumalli 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Pumppausnopeudet – litraa/s
Vesihöyryä 1,100 4,000 4,000 9 000 9,500 6,500 17,500 30000
Ilma 370 1500 1500 3,000 3,600 2,200 6,000 10000
Vety 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
Argon 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
Tilavuus – vakiolitra
Argon 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
Vety (5x10 -6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Nimellinen regenerointiaika (kylmästä kylmään)
Ensimmäinen ja toinen vaihe 75 min 2,5 h 2,5 h 2,5 h 2,5 h <3,3 h 3 h <3,8 h
Toinen vaihe <1 h <1 h <1 h <1 h <1 h <1,5 h <1,5 h -