Your browser is not supported

Používate prehliadač, ktorý už nepodporujeme. Ak chcete pokračovať v návšteve našich webových lokalít, použite jeden z nasledujúcich podporovaných prehliadačov

Nový štítok vnútornej kryočerpadla

Zrýchlite integráciu a zlepšite prevádzku systému

Vákuové čerpadlá Edwards CTI-Cryogenics On-Board urýchľujú integráciu a zlepšujú prevádzku systému – známe ako svetová norma pre spoľahlivosť a výkon.

Zabudované kryočerpadlá s plne integrovanými ovládacími prvkami a podpornými periférnymi zariadeniami poskytujú vynikajúci čas prevádzky a konzistentný výkon na zvýšenie celkovej produktivity nástrojov a času prevádzkyschopnosti.

Edwards CTI-Cryogenics On-Board cryopump reference image

Kľúčové vlastnosti

  • Funkcia Fast Regen™, ktorá predlžuje výkon kryočerpadla medzi regeneráciami
  • Schopnosť súbežnej regenerácie, ktorá je možná vďaka zosieťovaniu kryočerpadiel, ktorá urýchľuje celkovú regeneráciu systému
  • Zabudované mikroprocesorové ovládanie na zvýšenie výkonu, vykonávanie diagnostických postupov a poskytovanie komunikačných možností
  • Sofistikovaný softvér a ľahko použiteľné grafické používateľské rozhrania na výrazné zlepšenie výkonu a prevádzky
Model zabudovaného kryočerpadla 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Rýchlosť čerpania – litre/s
Vodná para 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
Vzduch 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
Vodík 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
Argón 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
Objem – štandardný liter
Argón 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
Vodík (5 x 10 - 6 torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Menovitý čas regenerácie (studená až studená)
Prvý a druhý stupeň 75 min 2,5 h 2,5 h 2,5 h 2,5 h < 3,3 h 3 hrs < 3,8 h
Druhý stupeň < 1 hodina < 1 hodina < 1 hodina < 1 hodina < 1 hodina < 1,5 hodiny < 1,5 hodiny -
ČÍTAJTE VIAC

Zistite viac o našich prispôsobených servisných riešeniach