Zrýchlite integráciu a zlepšite prevádzku systému
Vákuové čerpadlá Edwards CTI-Cryogenics On-Board urýchľujú integráciu a zlepšujú prevádzku systému – známe ako svetová norma pre spoľahlivosť a výkon.
Zabudované kryočerpadlá s plne integrovanými ovládacími prvkami a podpornými periférnymi zariadeniami poskytujú vynikajúci čas prevádzky a konzistentný výkon na zvýšenie celkovej produktivity nástrojov a času prevádzkyschopnosti.
Kľúčové vlastnosti
- Funkcia Fast Regen™, ktorá predlžuje výkon kryočerpadla medzi regeneráciami
- Schopnosť súbežnej regenerácie, ktorá je možná vďaka zosieťovaniu kryočerpadiel, ktorá urýchľuje celkovú regeneráciu systému
- Zabudované mikroprocesorové ovládanie na zvýšenie výkonu, vykonávanie diagnostických postupov a poskytovanie komunikačných možností
- Sofistikovaný softvér a ľahko použiteľné grafické používateľské rozhrania na výrazné zlepšenie výkonu a prevádzky
- Technické údaje produktu
| Model zabudovaného kryočerpadla | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Rýchlosť čerpania – litre/s | ||||||||
| Vodná para | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| Vzduch | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| Vodík | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| Argón | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| Objem – štandardný liter | ||||||||
| Argón | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| Vodík (5 x 10 - 6 torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Menovitý čas regenerácie (studená až studená) | ||||||||
| Prvý a druhý stupeň | 75 min | 2,5 h | 2,5 h | 2,5 h | 2,5 h | < 3,3 h | 3 hrs | < 3,8 h |
| Druhý stupeň | < 1 hodina | < 1 hodina | < 1 hodina | < 1 hodina | < 1 hodina | < 1,5 hodiny | < 1,5 hodiny | - |