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Nueva etiqueta de bombas criogénicas integradas

Acelere la integración y mejore el funcionamiento del sistema

Las bombas de vacío integradas CTI-Cryogenics de Edwards aceleran la integración y mejoran el funcionamiento del sistema, conocido como el estándar mundial de fiabilidad y rendimiento.

Las bombas criogénicas integradas, con controles totalmente integrados y periféricos compatibles, ofrecen un tiempo de actividad superior y un rendimiento constante para aumentar la productividad general de las herramientas y el tiempo de actividad.

Edwards CTI-Cryogenics On-Board cryopump reference image

Características clave

  • Capacidad Fast Regen™ que amplía el rendimiento de la bomba criogénica entre regeneraciones
  • Capacidad de regeneración simultánea, habilitada mediante la conexión en red de sus bombas criogénicas, que acelera la regeneración general del sistema
  • Un control de microprocesador integrado para mejorar el rendimiento, realizar rutinas de diagnóstico y proporcionar capacidad de comunicación
  • Software sofisticado e interfaces gráficas de usuario fáciles de usar para mejorar significativamente el rendimiento y el funcionamiento
Modelo de bomba criogénica integrado 4F 14 8F 17 10F 250F 680 500
Velocidades de bombeo - litros/seg.
Vapor de agua 1.100 4000 4000 9000 9,500 6,500 17,500 30 000
Aire 630 1.500 1.500 3.000 3.600 2.200 6.000 10.000
Hidrógeno 630 2.500 2.200 5.000 6.000 3.200 12.000 12.000
Argón 310 1.200 1.200 2.500 3.000 1,800 5.000 8,400
Capacidad - litro estándar
Argón 210 1.000 1.000 2.000 2.000 1.000 2.500 6.000
Hidrógeno (5x10-6 Torr) 5.9 29 12 24 24 16 42 77
Tiempo de regeneración nominal (frío a frío)
Primera y segunda etapa 75 min 2,5 horas 2,5 horas 2,5 horas 2,5 horas <3,3 horas 3 horas <3,8 h
Segundo nivel <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1,5 horas <1,5 horas -