Acelere la integración y mejore el funcionamiento del sistema
Las bombas de vacío integradas CTI-Cryogenics de Edwards aceleran la integración y mejoran el funcionamiento del sistema, conocido como el estándar mundial de fiabilidad y rendimiento.
Las bombas criogénicas integradas, con controles totalmente integrados y periféricos compatibles, ofrecen un tiempo de actividad superior y un rendimiento constante para aumentar la productividad general de las herramientas y el tiempo de actividad.
Características clave
- Capacidad Fast Regen™ que amplía el rendimiento de la bomba criogénica entre regeneraciones
- Capacidad de regeneración simultánea, habilitada mediante la conexión en red de sus bombas criogénicas, que acelera la regeneración general del sistema
- Un control de microprocesador integrado para mejorar el rendimiento, realizar rutinas de diagnóstico y proporcionar capacidad de comunicación
- Software sofisticado e interfaces gráficas de usuario fáciles de usar para mejorar significativamente el rendimiento y el funcionamiento
- Especificaciones del producto
| Modelo de bomba criogénica integrado | 4F | 14 | 8F | 17 | 10F | 250F | 680 | 500 |
| Velocidades de bombeo - litros/seg. | ||||||||
| Vapor de agua | 1.100 | 4000 | 4000 | 9000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30 000 |
| Aire | 630 | 1.500 | 1.500 | 3.000 | 3.600 | 2.200 | 6.000 | 10.000 |
| Hidrógeno | 630 | 2.500 | 2.200 | 5.000 | 6.000 | 3.200 | 12.000 | 12.000 |
| Argón | 310 | 1.200 | 1.200 | 2.500 | 3.000 | 1,800 | 5.000 | 8,400 |
| Capacidad - litro estándar | ||||||||
| Argón | 210 | 1.000 | 1.000 | 2.000 | 2.000 | 1.000 | 2.500 | 6.000 |
| Hidrógeno (5x10-6 Torr) | 5.9 | 29 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 77 |
| Tiempo de regeneración nominal (frío a frío) | ||||||||
| Primera y segunda etapa | 75 min | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | <3,3 horas | 3 horas | <3,8 h |
| Segundo nivel | <1 hr | <1 hr | <1 hr | <1 hr | <1 hr | <1,5 horas | <1,5 horas | - |
