Mempercepat integrasi dan meningkatkan operasi sistem
Pam vakum On-Board Edwards CTI-Cryogenics mempercepat integrasi dan meningkatkan operasi sistem - dikenali sebagai piawaian dunia untuk kebolehpercayaan dan prestasi.
Cryopump On-Board, dengan kawalan yang sepenuhnya terintegrasi dan periferal sokongan, memberikan masa operasi yang unggul dan prestasi yang konsisten untuk meningkatkan produktiviti dan masa operasi alat secara keseluruhan.
Ciri Utama
- Keupayaan Fast Regen™ yang memanjangkan prestasi cryopump antara regenerasi
- Keupayaan penjanaan semula serentak, yang diaktifkan dengan menyambungkan cryopump anda melalui rangkaian, yang mempercepatkan penjanaan semula sistem secara keseluruhan
- Satu kawalan mikroprosesor terbenam untuk meningkatkan prestasi, melaksanakan rutin diagnostik dan menyediakan keupayaan komunikasi
- Perisian canggih dan antara muka pengguna grafik yang mudah digunakan untuk meningkatkan prestasi dan operasi dengan ketara
- Spesifikasi Produk
| Model Cryopump Dalam Kapal | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Kelajuan Pam - liter/saat. | ||||||||
| Wap Air | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| Udara | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| Hidrogen | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| Argon | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| Kapasiti - liter piawai | ||||||||
| Argon | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| Hidrogen (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Masa Penjanaan Semula Nominal (sejuk ke sejuk) | ||||||||
| Tahap Pertama dan Kedua | 75 minit | 2.5 jam | 2.5 jam | 2.5 jam | 2.5 jam | <3.3 jam | 3 jam | <3.8 jam |
| Tahap Kedua | <1 jam | <1 jam | <1 jam | <1 jam | <1 jam | <1.5 jam | <1.5 jam | - |
