Accelerer integration og forbedr systemdrift
Edwards CTI-Cryogenics On-Board vakuumpumper fremskynder integrationen og forbedrer systemdriften – kendt som verdensstandard for pålidelighed og ydeevne.
On-Board kryopumper med fuldt integrerede styringer og understøttende periferiudstyr leverer overlegen oppetid og konsekvent ydeevne for at øge den samlede værktøjsproduktivitet og oppetid.
Nøglefunktioner
- Fast Regen™-funktion, der forlænger cryopumpens ydeevne mellem regenereringer
- Samtidig regenereringskapacitet, aktiveret ved netværk af dine kryopumper, som fremskynder den samlede systemregenerering
- En indlejret mikroprocessorstyring til at forbedre ydeevnen, udføre diagnostiske rutiner og give kommunikationsmuligheder
- Avanceret software og brugervenlige grafiske brugergrænseflader til markant at forbedre ydeevne og drift
- Specifikationer og data
| On-Board Kryopumpe Model | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Pumpningshastigheder - liter/sek. | ||||||||
| Vanddamp | 1.100 | 4.000 | 4.000 | 9.000 | 9.500 | 6.500 | 17.500 | 30.000 |
| Luft | 370 | 1.500 | 1.500 | 3.000 | 3.600 | 2.200 | 6.000 | 10.000 |
| Hydrogen | 370 | 2.500 | 2.200 | 5.000 | 6.000 | 3.200 | 12.000 | 12.000 |
| Argon | 310 | 1.200 | 1.200 | 2.500 | 3.000 | 1.800 | 5.000 | 8.400 |
| Kapacitet - standardliter | ||||||||
| Argon | 210 | 1.000 | 1.000 | 2.000 | 2.000 | 1.000 | 2.500 | 6.000 |
| Hydrogen (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Nominal regenereringstid (kold til kold) | ||||||||
| Første og anden fase | 75 min | 2,5 timer | 2,5 timer | 2,5 timer | 2,5 timer | <3,3 timer | 3 timer | <3,8 timer |
| Anden fase | <1 t | <1 t | <1 t | <1 t | <1 t | <1,5 timer | <1,5 timer | - |
