Systém Atlas nabízí bezkonkurenční výkon při snižování emisí
Systém Atlas™ od společnosti Edwards poskytuje vynikající spolehlivost, vynikající manipulaci s práškem a odolnost proti korozi a zajišťuje výkon při snižování zátěže v polovodičovém průmyslu, výrobě plochých panelů, solárních článků a procesů MOCVD.
Technologie pro snižování emisí Atlas: řada řešení pro snižování emisí spalin – specifická pro váš proces:
- Systém Atlas TCS pro běžné plyny CVD (NF3/F2)
- Systém Atlas TPU pro perfluorované plyny (CIF3, C2F6, C3F8) v procesech CVD
- Systém Atlas Kronis pro plyny CVD s nízkým obsahem v procesech nové generace
- Systém Atlas Etch pro leptání polovodičů a procesy výroby plochých obrazovek (CF4, SF6 a perfluorované plyny s vysokým průtokem)
- Systém Atlas Helios pro bezpečné zpracování procesů vodíku v epitaxi a MOCVD
Systémy Atlas™ mají ve srovnání s předchozími generacemi zařízení pro snižování emisí plynů nízkou spotřebu paliva. K dosažení výrazně nižších celkových provozních nákladů používáme osvědčenou technologii spalování s vnitřním vstřikováním Alzeta™. Díky 1–6 vstupům s řadou možností, včetně systému řízení teploty (TMS), mohou systémy Atlas zpracovávat průtok až 1200 slm. Jsou navrženy tak, aby se snadno používaly a umožňovaly efektivnější údržbu.
Technologie spalování s vnitřním vstřikováním společnosti Edwards
Tento spalovací systém, který používá většina velkých výrobců polovodičů, se od roku 1994 stal světovým standardem v oblasti snižování emisí plynů.
Naše jedinečná technologie spalování funguje při jednotné teplotě spalování. Tím jsou zajištěny velmi nízké vedlejší emise a přítok plynu zabraňuje kontaktu provozního materiálu se stěnami komory, což minimalizuje ucpání pevnými látkami. Exkluzivní složení materiálu spalovacího systému zajišťuje vynikající odolnost vůči korozi a pomáhá systému Atlas získat bezkonkurenční spolehlivost a bezpečnost.
V našem nejmodernějším centru pro inovace v oblasti životního prostředí máme řešení vyladěná pro vynikající výkon, která jsou vyzkoušená v praxi a ověřená třetí stranou. Snižování emisí obvykle přesahuje rámec celosvětové a místní legislativy:
SiH4 a další halogenidy pod TLV
NF3: > 99 % / < TLV
F2: > 99 % / < TLV
CF4: > 90 %
Ostatní perfluorované plyny: > 99 %
Díky rozsáhlé instalační základně, jedinečnému týmu celosvětových aplikací a servisní podpoře vám můžeme nabídnout nejlepší řešení navržené pro vaše potřeby. Spojte se s naším týmem a spolupracujte s námi na dosažení dokonalého řešení.
