Atlas, eşsiz arıtma performansı sunar
Edwards'ın Atlas™ ürünü, üstün güvenilirlik, mükemmel toz işleme ve korozyon direnci sunarak yarı iletken, düz panel ekran, güneş enerjisi ve MOCVD endüstrileri için arıtma performansı sağlar.
Atlas giderim teknolojisi: sürecinize özgü bir dizi yanma gazı giderim çözümleri
- Ortak CVD gazları için Atlas TCS (NF3/F2)
- Atlas TPU, CVD işlemlerinde PFC gazları (ClF3, C2F6, C3F8) için
- Atlas Kronis, yeni nesil işlemlerde düşük-k CVD gazları için
- Atlas Etch, yarı iletken aşındırma ve düz panel ekran işlemleri için (CF4, SF6 ve yüksek akışlı PFC'ler)
- Atlas Helios, epitaksi ve MOCVD'deki hidrojen işlemlerinin güvenli şekilde işlenmesi için
Atlas™ sistemleri, önceki nesil gaz giderme cihazlarına kıyasla düşük yakıt tüketimine sahiptir. Sahip olduğumuz kanıtlanmış Alzeta™ içten yanmalı yakıcı teknolojisi ile sahip olma maliyetini önemli ölçüde azaltıyoruz. Bir ila altı girişe sahip olan ve sıcaklık yönetim sistemi (TMS) dahil olmak üzere çeşitli seçenekler sunan Atlas sistemleri, 1.200 slm'ye kadar akış kapasitesini işleyebilir. Kullanımı kolay olacak şekilde tasarlanmış olup, daha verimli bakım imkanı sağlarlar.
Edwards'ın içten ateşlemeli yanma teknolojisi
Çoğu büyük yarı iletken üreticisi tarafından kullanılan içe doğru ateşlemeli yanma odası, 1994 yılından bu yana gaz gideriminde dünya standardı haline gelmiştir.
Eşsiz yanma teknolojimiz, sabit bir yanma sıcaklığı ile çalışır. Bu, çok düşük arka plan emisyonlarını garanti eder ve gazın içe doğru akışı, proses malzemesinin hazne duvarlarıyla temasını engeller, böylece katı maddeler tarafından tıkanmayı en aza indirir. Yanma odası malzemesinin özel bileşimi, üstün korozyon direnci sağlar ve Atlas'a benzersiz güvenilirlik ve emniyet kazandırır.
En son teknoloji çevresel inovasyon merkezimizde, olağanüstü performans için süreçlere özel çözümlerimiz bulunmaktadır; sahada kanıtlanmış ve üçüncü taraflarca doğrulanmıştır. Azaltım DRE'leri genellikle küresel ve yerel mevzuatın ötesine geçer:
SiH4 ve diğer Halojenler TLV'nin altında
NF3 : >99% / <TLV
F2 : : >99% / <TLV
CF4 : >90%
Diğer PFC'ler : >99%
Geniş bir kurulum tabanı, eşsiz küresel uygulamalar ekibi ve servis desteği ile süreç ihtiyaçlarınız için tasarlanmış en iyi çözümü sunabiliriz. Ekibimizle iletişime geçin, birlikte nihai çözüme ulaşabiliriz.
