Regis（反応性ガス注入システム）は、リモートプラズマ技術を使用してポンプの寿命を延長することができる化学反応システムです。
独自設計の反応チャンバ備えた最新世代のRegisは、プロセスガスをポンプに導入する前に効率的に反応させることで、ポンプ寿命を300日以上に延長します。
前世代のRegisと比較して、設置面積は26.5%削減されました。最新のRegisシステムとハーシュデューティ向けドライ真空ポンプを組み合わせることで、一連のプロセスにおいてポンプの稼働時間とプロセスの安定性を最大化します。
特長と利点：
- 低所有コスト：
Regisは、ポンプの寿命を300日以上に延長
CoOを最小化するために、FTIR実験を繰り返してNF3流量を最適化。
新設計の反応チャンバにより、反応効率が2倍に向上。
- 装置の稼働時間を最大化：
オンライン連続運転。
ポンプ交換の頻度が減り、装置のダウンタイムを低減。
- キャビネット排気を備えた完全密閉システム。
- PLC制御：
装置信号との連携によるプラズマ点火機能搭載。
強化されたセキュリティ。
フルモニタリングシステム。
- 安定したプロセスパフォーマンスの実現：
性能の低下なし。
コンダクタンスへの影響なし。
エドワーズRegis