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    • 排気ミストフィルターでオイルミストを防ぐには?

    油回転式ロータリーベーンポンプのオイルミストとは?

    油回転式ロータリーベーンポンプは、メーカーに関係なく、運転時に排気ポートからオイルミストが発生します。

    この「ミスト」は、誤って「煙」と呼ばれることもありますが、実際には真空ポンプオイルの微細なエアロゾルです。オイルがポンプ機構内部の微小な隙間から絞り出され、運転温度が上昇することで発生します。

    この炭化水素オイルミストは可燃性の危険性があります。

    オイルミストはどのようにしてポンプの排気口に到達するのか?

    油回転式ロータリーベーンポンプの場合、大容量のチャンバーを大気圧から粗引きする時など、ガスのスループット量が多くなるとポンプ排気部にオイルミストが発生します。

    その他、真空システムに入れた大流量のガスを排気する場合や、ガスバラストを運転する場合などにも、排気口にオイルミストが発生します。

    真空ポンプへの影響

    時間の経過とともに、このオイルミストがポンプのオイルチャージのかなりの量を奪い、ポンプ内のオイルが空になる可能性があります。

    実験室では、このオイルミストが排気ダクトや作業環境に入る可能性があります。

    到達圧力で作動している真空ポンプでも、一般に排気口には少量のオイルミストが見られます。

    最近の油回転式ロータリーベーンポンプのほとんどは、真空性能には影響しませんが、非常に低い圧力での油圧の「ノッキング」を防ぐ「エアブリード」を内部で使用しています。このエアブリードにより、見かけ上ガスを排気していないポンプでも、少量のオイルミストが排気口から出ます。

    Edwards Exhaust Mist Filter

    エドワーズ排気ミストフィルター

    1. アウトレット
    2. 臭気エレメントシール
    3. 圧力リリーフバルブアセンブリ
    4. ドレンプラグ
    5. ミストフィルターエレメントOリング
    6. インレット
    7. 下部ボディ(白)
    8. ミストフィルターエレメント 
    9. Dシール
    10. 上部ボディ(グレー)
    11. 臭気エレメント
    12. ボディハーフ固定ネジ
    13. 最高オイルレベル
    14. サイトパネル

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