モードスイッチ機能とは？

モードスイッチはエドワーズ油回転式ロータリーベーンポンプのRVシリーズのユニークな特徴です。

これはポンプを高真空モードから高スループットモードに切り替えるために使用され、従来は信頼性の高い運転のために1段と2段の両方のロータリーベーンポンプが必要であった様々な用途でRVポンプが2つの役割を果たすことを可能にします。

2段式油回転式ロータリーベーンポンプでは、2つの排気ステージが連なります：

• １段目：高真空ステージで下の２段目に排気する
• ２段目：低真空ステージで、最終的に大気圧へと排気します

真空ポンプオイルは、ポンプ機構の一部であるオイルポンプと油圧レギュレーターを介して各ステージに注入されます。オイルは、潤滑、シール、熱の移動など、多くの役割を果たします。

モードスイッチを...

• 高真空モードにすると、オイルは制御された速度で高真空ステージに入る前に、ステージ間エリアで脱気されます。この脱ガスにより、最高の到達真空度を達成することができます。
  
• 高スループットモードにすると、良好な潤滑を確保するため、高真空ステージに大流量のオイルが流れ込みます。
  

高スループットモードでは、ポンプの最終的な真空度にはこだわらず、高真空ステージが潤滑不足に陥ることなく、大きなガス負荷に対応する能力だけを重視します。

ポンプに長時間比較的高いインレット圧力（この場合の高圧とは75Torr/100mbar以上、または大気圧の約1/10）をかける用途では、ポンプを高スループットモードで運転する必要があります。

このような高圧・高スループット運転中に従来の2段ポンプを運転すると、高真空ステージを通過するガスの量が非常に多くなり、通常はその内部にあるべきオイルが流出し、ポンプの可動部と非可動部が直接金属と金属で接触する「ドライ運転」になる可能性があります。その結果、摩耗や損傷が急速に進みます。

モード選択スイッチは、ポンプ本体内のオイル分配経路を変更し、高真空ステージへのオイルの流れを増加させます。 これにより、潤滑が維持され、また、ポンプ内部で凝縮する可能性のある大量の蒸気をポンプが処理しやすくなります。

モード制御スイッチに代わるものとしては、2台の専用ポンプをもつことです：

• 高スループット/高圧運転用の1ステージポンプ
• 高真空用の2ステージポンプ

しかし、モードスイッチがあれば、どちらのモードでも性能を損なうことなく、1台のポンプで高スループット運転と高真空運転の両方の役割を果たすことができます。