比類のない真空性能とエネルギー効率
エドワーズCTI-Cryogenics ISクライオポンプシステムは、革新的な高効率技術を活用して、比類のない真空性能とエネルギー効率を実現します。
特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視、調整し、システム全体で最適な真空性能を維持することで、優れたプロセス一貫性を実現します。On-Board ISクライオポンプは、エドワーズのグローバルサービスおよびサポートネットワークにより、市販されているクライオポンプシステムの中で最高の稼働時間、生産性、および最小限の総所有コストを提供します。
IS XP
On-Board® IS XP クライオポンプは、プロセスの透明性を維持しながら、最大の生産性を達成する PVD 用途向けに容量を増加させます。同時に、実証済みのエネルギー効率、一貫した性能、および On-Board® IS に期待される低所有コストを活用します。
- 将来的なプロセス改善のための能力オーバーヘッドの提供
- 所有コストをさらに低減
- 稼働時間を増加
- 安定した真空性能を発揮するインテリジェントな「自己調整」テクノロジー
IS 320FXクライオポンプ
On-Board® IS 320FX クライオポンプは、今日のイオンインプラントプロセスの課題に対処するために特別に開発されており、水素排気速度と容量を向上させながら、期待される品質、性能、信頼性を維持します。
- イオン注入用途のための専用設計
- 装置スループットを最適化
- インテリジェントな「自己調整」テクノロジー
- 所有コストをさらに低減
- 長い稼働時間
On-Board® IS 320F XVSクライオポンプ
新次元のクライオポンプ性能を発揮します
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320Fクライオポンプは、市場で最も信頼性が高く、最高の性能を発揮するイオン注入クライオポンプの設計においてエドワーズの伝統を受け継いでいます。
