クリーンで確実
エドワーズCTI-Cryogenics Cryo-Torrクライオポンプが新たな基準を打ち立てます。
このクライオポンプは低い運用コスト、迅速かつ容易な保守性、反応の早いサポートサービスにより、優れた信頼性と収益パフォーマンスを実現します。柔軟性を高めるため、独自にカスタマイズされたコントロールとサポート用周辺機器を追加して、特定用途のニーズを満たすことも可能です。
主な特長
- 低い運用コストを実現
- 迅速で簡単な保守
- 信頼性の高いソリューション
- 収益パフォーマンス
- テクニカルデータシート
- ダウンロード
| Cryo-Torrポンプモデル | 8 | 8F | 10 | 10F | 400 | ||
構成 |
ストレート |
フラット |
ストレート |
フラット |
ストレート |
||
真空フランジID（金属シール、ANSI、ISO） |
200 mm |
200 mm |
290 mm |
300 mm |
400 mm |
||
ガス排気速度 |
|||||||
水 |
L/s |
4,000 |
4,000 |
9,000 |
9,500 |
16,000 |
|
空気 |
L/s |
1,500 |
1,500 |
3,000 |
3,600 |
6,000 |
|
水素 |
L/s |
2,500 |
2,200 |
5,000 |
6,000 |
5,000 |
|
アルゴン |
L/s |
1,200 |
1,200 |
2,500 |
3,000 |
5,000 |
|
ガス容量 |
|||||||
水素 |
標準リットル |
17 |
8 |
24 |
24 |
15 |
|
アルゴン |
標準リットル |
1,000 |
1,000 |
2,000 |
2,000 |
2,500 |
|
処理能力 |
|||||||
アルゴン |
SCCM |
700 |
700 |
1,500 |
1,500 |
500 |
|
アルゴン |
Torr - L/s |
9 |
9 |
19 |
19 |
6 |
|
クロスオーバー |
Torr - リットル |
150 |
150 |
300 |
300 |
300 |
|
冷却時間 |
|||||||
60 Hertz |
90分 |
90分 |
100分 |
100分 |
150分 |
||
50 Hertz |
110分 |
110分 |
120分 |
120分 |
180分 |
||
クライオポンプ重量 |
|||||||
ポンド |
45 |
42 |
85 |
90 |
160 |
||
kg |
20 |
19 |
39 |
41 |
73 |
標準の製品を表示しています。カスタム構成と仕様については、弊社までお問い合わせください。
