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Produkte für die Halbleiterindustrie
Neuigkeiten
Ganymede Trockenvakuumpumpe für den harten Einsatz in der Halbleiterindustrie
Nextgen Trockenvakuumpumpen für anspruchsvolle Halbleiterprozesse, die die Gesamtbetriebskosten (TCoO) senken, die Betriebszeit verbessern und die Nachhaltigkeitsziele der Fabrik unterstützen.
EUV Vizeon
Integriertes EUV-Lithographie-Sub-Fab-System, das Vakuum, Wasserstoffhandhabung und -rückgewinnung kombiniert, um Effizienz, Verfügbarkeit und Kosten zu verbessern.