Messgeräte für die indirekte Druckmessung

Vielseitige Lösungen für die Drucküberwachung

Unsere Messröhren für die indirekte Druckmessung eignen sich ideal für niedrige Drücke und liefern präzise Messwerte über einen großen Druckbereich..

Diese Messröhren ermöglichen präzise Messergebnisse für unterschiedliche Gasarten. Für eine erweiterte Steuerung bieten wir digitale Varianten an, die sich einfach in digitale Systeme integrieren lassen.

Diese Messröhren lassen sich nahtlos in neue und bestehende Vakuumsysteme integrieren und bieten eine unkomplizierte Lösung für zahlreiche Vakuumanwendungen.

Finden Sie die richtige Messröhre für Ihre Anforderungen.

Messgeräte für die indirekte Druckmessung: ideal für den Einsatz bei niedrigen Drücken

Messröhren für die indirekte Druckmessung erfassen druckabhängige Eigenschaften wie die Wärmeleitfähigkeit. Sie eignen sich daher besonders für niedrige Drücke, bei denen die Teilchendichte für eine präzise direkte Druckmessung zu gering ist.

Die Druckmessungen mit diesen Messröhren ist von der Gasart abhängig. Mithilfe von Korrekturfaktoren lässt sich der Druck entsprechend den spezifischen Bedingungen Ihres Systems korrekt bestimmen.

Diese Messröhren liefern präzise Messwerte über einen breiten Druckbereich und eignen sich für zahlreiche industrielle, wissenschaftliche und Halbleiteranwendungen. Vergleichen Sie die Technologien in der Übersicht und finden Sie die passende Lösung für Ihr Vakuumsystem.

Für eine einfache Integration und erweiterte Steuerungsmöglichkeiten bieten wir digitale Varianten einiger unserer bewährten Messröhren an, darunter:

nAPG200 - Pirani-Messröhre
nAIM200 - Invertierte Magnetron-Messröhre
nWRG200 - Weitbereichsmessröhre

Diese digitalen Versionen verfügen über RS232- oder RS485-Kommunikationsschnittstellen, die eine einfache Integration mit PCs oder SPS ohne den Bedarf an analogen Reglern ermöglichen. Diese Option ist besonders nützlich für Systeme, die direkte digitale Eingänge und präzise Überwachung erfordern.

APG-Pirani-Messröhren

Der Active Pirani Gauge (APG200) eignet sich für ein breites Spetkrum an Vakuumanwendungen. Bei Analysegeräten bieten die kompakte Bauform und die flexiblen Ausgänge klare Vorteile. In der Halbleiterindustrie erleichtern die neuen Schnittstellen und LED-Leuchtringe die Systemwartung. In Forschung und Entwicklung ermöglicht die lokale Druckanzeige die Überwachung von Experimenten unabhängig von den zentralen Schnittstellen.

Die digitale Variante der Pirani-Messröhre APG200, die nAPG200, verfügt über RS232 oder RS485 Kommunikationsschnittstellen. Dadurch lässt sie sich nahtlos in PCs oder speicherprogrammierbare Steuerungen (SPS) integrieren und eignet sich besonders für Systeme, die direkte digitale Eingänge erfordern.

Was sind die Merkmale des APG200?

Druckanzeige mit 360°-LED-Leuchtring
Kompakte Größe
Langer Messdraht
Integrierter Filter (Version ohne Filter erhältlich)
Drop-in-kompatibel
Großer Leistungsbereich mit Stromversorgung von 15–48 V
Digital/Analog
Sollwertrelais

APG200 Pirani-Messröhre

Aktive Pirani-Messröhre APG200 – Explosionsansicht

0:11

Aktive Pirani-Messröhre APG200 – Rotationsansicht

0:12

Aktive Pirani-Messröhre APG200 – LED-Leuchtring

0:20

Invertierte Magnetron-Messröhren AIM

Die Active Inverted Magnetron (AIM200) Messröhren bieten präzise Messungen im Vakuumbereich von 1 x 10^-2 bis 1 x 10^-9 mbar.

Dieses Messgerät ist robust und zuverlässig eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum, von wissenschaftlichen Instrumenten bis hin zu industriellen Prozessen.

Die AIM200 vereint eine invertierten Magnetron-Messröhre und die zugehörige Steuerelektronik in einer kompakten Einheit. Ihr äußerst geringes externes Magnetfeld und der verbesserte Zündmechanismus mache es ideal für empfindliche Analyseinstrumente sowie für Anwendungen, bei denen die Messröhre in unmittelbarer Nähe von empfindlichen Geräten montiert werden muss.

Die nAIM ist die digitale Version unseres AIM200. Sie unterstützt RS232- oder RS485-Kommunikation und bietet dieselben Abmessungen und Leistung wie die analoge Version, ermöglicht jedoch eine einfachere Datenerfassung und Steuerung durch digitale Systeme.

Was sind die Merkmale des AIM200?

Druckanzeige mit 360°-LED-Leuchtring
Kleinere Stellfläche
Stern-Starter
Keine externe Steuerung erforderlich
Treiber verfügbar
Drop-in-kompatibel
Großer Leistungsbereich mit Stromversorgung von 15–48 V
Neue Magnete
Sollwertrelais
Variante kompatibel mit C-Bügel

Aktive invertierte Magnetron-Messröhre (AIM200)

WRG-Kaltkathoden-Kombinationsmessgeräte

Die Weitbereichsmessröhre (WRG200) ermöglicht die Druckmessung mit einem Anschluss von Atmosphärendruck bis 10^-9 mbar und deckt so nicht nur die Vakuumkammer-Evakuierung ab, sondern auch Prozessdrücke.

Die Messröhre WRG200 ist robust und zuverlässig in einer Vielzahl von Anwendungen, von wissenschaftlichen Instrumenten bis hin zu Halbleitern und industriellen Prozessen, da sie die neueste Pirani-Messdraht- und Kaltkathoden-Technologie nutzt.

Eine All-in-One-Messröhre, die Ihnen den Vorteil bietet, dass sie automatisch vom Grobvakuumsensor auf den Hochvakuumsensor umgeschaltet werden kann und ein geringes magnetisches Streufeld aufweist, sodass keine Interferenzen mit der Umgebung entstehen.

Die nWRG ist das digitale Gegenstück der WRG200, die die gleiche Größe und Leistung beibehält und gleichzeitig die Flexibilität der digitalen Kommunikation bietet. Dies macht sie ideal für Anwendungen, bei denen präzise und direkte digitale Druckmessungen erforderlich sind.

Welche Merkmale hat der WRG200?

Druckanzeige mit 360°-LED-Leuchtring
Kleinere Stellfläche
Fortschrittliche Drahttechnologie
Keine externe Steuerung erforderlich
Treiber verfügbar
Drop-in-kompatibel
Großer Leistungsbereich mit Stromversorgung von 15–48 V
Neue Magnete
Sollwertrelais
Variante kompatibel mit C-Bügel

Weitbereichsmessröhre, Kaltkathode/Pirani von Edwards (WRG200 und nWRG200)

Weitbereichsmessröhre, Kaltkathode/Pirani (WRG200 und nWRG200)

Aktive invertierte Magnetron-Messröhre (AIM200) und Weitbereichsmessröhre (WRG200) - Explosionsansicht

0:11

Aktive invertierte Magnetron-Messröhre (AIM200) und Weitbereichsmessröhre (WRG200) - Rotationsansicht

0:13

Aktive invertierte Magnetron-Messröhre (AIM200) und Weitbereichsmessröhre (WRG200) - LED-Lichtring als visuelle Druckanzeige Ansicht Miniaturbild

Aktive invertierte Magnetron-Messröhre (AIM200) und Weitbereichsmessröhre (WRG200) - LED-Lichtring zur visuellen Druckanzeige

0:27

Lineare APGX-H-Konvektions-Vakuum-Messröhren

Die aktive lineare Konvektionsmessröhre (APGX-H) hat einen weiten Messbereich von 1333 bis 3 x 10^-4mbar.

Der Einsatz von Konvektionstechnologie sorgt dafür, dass Genauigkeit und Empfindlichkeit bis zum oberen Ende des Druckbereichs erhalten bleiben, im Gegensatz zu herkömmlichen Pirani-Messröhren, die oberhalb von 100 mbar an Genauigkeit verlieren.

Der Messröhre ist kompakt und kann in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden, um die Installation an Orten mit begrenztem Platz zu vereinfachen.

Aktive lineare Konvektionsmessröhre (APGX-H)

AIGX-Ionenmessgeräte

Die Aktiv-Ionisations-Messröhre (AIGX) ist eine kompakte Aktiv-Ionisations-Messröhre mit zwei mit Yttriumoxid beschichteten Iridiumfilamenten, einem weiten Messbereich von 6,6 x 10^-2 bis 6,6 x 10^-10 mbar und einem linearen Ausgang von 1 Volt/Dekade.

Die AIGX verfügt mit der eingebauten Elektronik und der austauschbaren Röhre über alle Vorzüge des Industriestandards für Aktiv-Messröhren. Die Messröhre verfügt über eine Entgasungsvorrichtung und Funktionen zum Schutz und zur Verlängerung der Lebensdauer der Messdrähte.

Ein Vorteil der AIGX ist die äußerst niedrige Emission geladener Teilchen. Dies macht sie zu einer ausgezeichneten Wahl für Prozesse, bei denen Hintergrundrauschen vermieden werden soll.

Aktiv-Ionisations-Messröhre (AIGX)

WRH-Heißkathoden-Kombinationsmessgeräte

Die aktive Heißkathoden-Weitbereichsmessröhre (WRH) bietet die Möglichkeit, mit einem einzigen Messgerät Messungen von Atmosphären bis 10^-10 mbar mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchzuführen.

Das WRH-Messgerät nutzt 2 Messmethoden (Bayard-Alpert & Pirani) in einem einzigen Gehäuse und bietet Ihnen alles, was Sie benötigen, um Ihr System zu messen und zu steuern.

Mit analogem und RS485-Ausgang über den D-SUB-Anschlussstecker, zwei integrierten Relais und einfacher Kalibrierung sind Steuerung und Überwachung einfach.

Mit der mitgelieferten Software können Sie die Leistung Ihres Systems ganz einfach verfolgen und protokollieren sowie Anpassungen am Verhalten der Messröhren vornehmen, z. B. Einstellen der Sollwerte oder Ändern der Ausgabeskalierung.

Dieses Messgerät ist der perfekte Begleiter für viele Anwendungen, von F&E-Instituten bis hin zur High-End-Massenspektrometrie und der allgemeinen Industrie.

Aktiv-Heißkathoden-Weitbereichsmessröhre (WRH)

Passive Messröhren

Passive Messröhren von Edwards sind Messköpfe ohne integrierte Elektronik. Sie sind gut geeignet für Umgebungen mit hoher Strahlung oder sehr hohen Temperaturen.

Während heute die aktive Messtechnik den Markt dominiert, gibt es immer noch Nischenanwendungen, in denen die passive Messtechnik überlegen ist. Dazu gehören alle Anwendungen, bei denen elektronische Systeme in der Nähe des Einsatzortes zu einem Ausfall des Geräts führen würden.

Zur Steuerung des Messgeräts ist weiterhin Antriebselektronik erforderlich, die jedoch in unserem speziellen Steuergerät untergebracht werden kann. Dieses kann bis zu 50 m vom Messgerät entfernt platziert werden, um eine „lokale“ Anzeige und Druckausgabe an Ihr System zu liefern.

Der am Vakuum-System angebrachte Messkopf enthält nur die für die physische Messung erforderlichen Elemente, die gesamte Elektronik ist im Controller enthalten.

Der Controller und das Kabel müssen der gewünschten Messröhre entsprechen.

Robuste und präzise Lösungen für besonders anspruchsvolle Umgebungen. Sie eignen sich ideal für Anwendungen in der Hochenergiephysik sowie Forschung & Entwicklung , bei denen Strahlung die Elektronik herkömmlicher aktiver Messröhren beschädigen könnte. Diese Messröhren haben sich unter solchen Bedingungen langjährig bewärt.

Bei diesen Anwendungen, die häufig ein Ultrahochvakuum erfordern, verfügen unsere passiven Messröhren über den größten Messbereich und können mit unserer IG40-EX-Serie Messungen bis zu 2 x 10⁻¹² mbar vornehmen.

Produktfamilie der passiven Messgeräte

Häufig gestellte Fragen zu Messgeräten für die indirekte Druckmessung

Können Edwards Messröhren in bestehende Vakuumsysteme integriert werden?

Viele Edwards Messröhren sind für eine unkomplizierte Integration sowohl in neue als auch bestehende Vakuumsysteme konzipiert und sind mit analogen und digitalen Kommunikationsoptionen erhältlich.

Welche Vorteile bieten Edwards Messgeräte für die indirekte Druckmessung?

Nahtlose Integration in neue und bestehende Vakuumsysteme
Ausgewählte Messgeräte werden im eigenen Haus gefertigt
Bewährte Edwards Vakuum-Expertise und technischer Support
Vollständiges Vakuummessgeräte-Portfolio für vielfältige Druckmessanforderungen
Reduzierte Lieferzeiten bei ausgewählten Messgeräten*
Zuverlässige Produktverfügbarkeit und weltweite Unterstützung

Lieferzeiten und Verfügbarkeit können je nach Region variieren

Welche Vakuummessgeräte werden für Halbleiteranwendungen verwendet?

Anlagen in der Halbleiterfertigung erfordern häufig Messröhren, die das Vakuum während des Evakuierens, des Prozesses und des Belüftens überwachen können. Je nach Druckbereich und Anwendungsanforderungen bietet Edwards verschiedene geeignete Technologien, darunter Pirani-, invertierte Magnetron- und Weitbereichsmessröhren.

Welche Vakuummessgeräte sind geeignete Analyseinstrumente?

Analytische Instrumente erfordern häufig eine stabile und genaue Vakuummessung mit kompakter Integration. Die Messröhren APG200 und AIM200 werden häufig in analytischen und wissenschaftlichen Anwendungen eingesetzt.