Pha loãng hydro EUV của Edwards với Richard Salloum

Quang in EUV đang giúp cho việc sản xuất số lượng lớn các mạch tích hợp có độ chính xác cao. Điều này làm tăng nhu cầu về các sản phẩm thân thiện với môi trường đồng thời tối đa hóa năng suất của khách hàng.

Để giảm phát thải trực tiếp của khách hàng, Edwards đã phát triển một giải pháp tránh sử dụng khí tự nhiên trong SubFab và thay đổi cách quản lý khí thải cho công nghệ quang điện EUV.

Với tư duy bền vững, các đội ngũ đổi mới của Edwards đã phát triển một giải pháp thay thế không sử dụng nhiên liệu để xử lý khí đốt cho EUV - Hệ thống pha loãng hydro hoặc H2D.

BẢN GHI VIDEO

Người quản lý sản phẩm làm gì?

Là một nhà quản lý sản phẩm, chúng tôi luôn cố gắng nắm bắt các yêu cầu của khách hàng và về cơ bản, chúng tôi cố gắng dự đoán tương lai của nhu cầu của khách hàng và những gì họ muốn.

Chúng ta sẽ thảo luận về cách pha loãng thay thế sản phẩm hiện tại của chúng ta, sử dụng nhiên liệu hóa thạch và nguồn lực hạn chế, và thay thế sản phẩm pha loãng đó bằng sản phẩm pha loãng tốt hơn cho môi trường, hiệu quả hơn để vận hành cho khách hàng và cải thiện năng suất của họ.

Trình điều khiển thị trường hiện tại cho EUV là gì?

Sự phát triển nhanh chóng của 5G, trí tuệ nhân tạo và sản xuất chip đang thúc đẩy nhu cầu về các mạch tích hợp có hiệu suất cao hơn và tiêu thụ điện năng thấp hơn. Các nhà sản xuất chip đang tiếp tục đầu tư vào công nghệ mới và phát triển các quy trình mới để cung cấp các giải pháp đáp ứng và hỗ trợ sự phát triển của công nghệ kỹ thuật số nhanh chóng.

Công nghệ quang điện EUV cho phép các nhà sản xuất chip tiếp tục giảm các tính năng và kích thước thiết bị, điều này đã xác định tiến bộ trong ngành bán dẫn kể từ những ngày đầu tiên. Việc đầu tư cần thiết để sử dụng EUV trong nhà sản xuất khối lượng lớn có nghĩa là có áp lực rất lớn đối với các nhà sản xuất chip để tối đa hóa sản lượng để đạt được lợi nhuận chấp nhận được.

Công suất tổng thể của một công cụ EUV về cơ bản là cố định, vì vậy các nhà sản xuất chip phải tìm cách giảm chi phí vận hành, tối đa hóa công suất và giảm chi phí môi trường. Tóm lại, cần phải có các sản phẩm thân thiện với môi trường đồng thời tối đa hóa năng suất.

Những thách thức mà khách hàng EUV trên toàn cầu đang phải đối mặt là gì?

Khách hàng của chúng tôi chịu áp lực rất lớn trong việc sản xuất các mạch tích hợp được sản xuất theo cách bền vững và thân thiện với môi trường. Cam kết thực hiện các mục tiêu bền vững như sáng kiến Mục tiêu Dựa trên Khoa học và Giao thức Khí nhà kính, có nghĩa là khách hàng của chúng tôi đang tìm kiếm những cách mới và sáng tạo để giảm lượng khí thải carbon của họ và vẫn cần tập trung vào việc cải thiện thời gian hoạt động của các công cụ E U V và cũng tập trung vào an toàn.

Làm thế nào để giải quyết vấn đề này?

Phần lớn khách hàng của chúng tôi đã cam kết giảm phạm vi thứ nhất và thứ hai của Giao thức Khí nhà kính, nghĩa là họ có cam kết về mặt giảm tác động đến môi trường và lượng khí thải CO2 tương đương. Hệ thống xử lý mà chúng tôi thường sử dụng trên hệ thống EUV Zenith sử dụng khí tự nhiên để đốt hydro. Hydro là khí quy trình cho phép công cụ EUV vận hành và tạo mẫu trên mạch tích hợp. Cách truyền thống của chúng tôi để quản lý khí thải là đốt cháy theo cách có kiểm soát, trong khi sản phẩm pha loãng hydro an toàn hơn, có chi phí sở hữu thấp hơn và thân thiện với môi trường hơn vì nó chỉ sử dụng điện để truyền động cơ chế quạt.

H2D hoạt động như thế nào?

H2D được tích hợp với hệ thống EUV Zenith của chúng tôi. Chúng tôi pha loãng khí quy trình hydro một cách an toàn bằng quạt đến tỷ lệ phần trăm thể tích thấp trên mỗi thể tích, và khí đó sau đó được thải ra khí quyển một khi nó dưới mức an toàn.

An toàn

Nghệ thuật đổi mới nằm ở việc cung cấp một sản phẩm xử lý khí thải hydro một cách an toàn, nhưng cũng bảo vệ những người làm việc trong SubFab, và rõ ràng chúng ta có trách nhiệm xã hội của doanh nghiệp đối với các cộng đồng sống xung quanh Fab, vì vậy chúng ta cần đảm bảo rằng khí thải được pha loãng đến mức an toàn.

H2D có thể mang lại lợi ích cho khách hàng như thế nào?

Chúng tôi hiểu rằng khách hàng cần cải thiện tính bền vững và an toàn, nhưng chúng tôi cũng cần cải thiện năng suất của khách hàng để cho phép họ thành công trong thị trường của họ. H2D sẽ cải thiện hiệu suất và tính khả dụng của công cụ EUV trong Fab bằng cách giảm đáng kể các hoạt động liên quan đến bảo trì so với công nghệ đốt cháy không khí, hoạt động dư thừa cung cấp thời gian hoạt động trăm phần trăm và bảo trì định kỳ có thể được thực hiện trong dòng hydro với khái niệm quạt kép của chúng tôi. Chúng tôi hiện đang phát triển công suất H2D cao hơn để hỗ trợ công cụ EUV thế hệ tiếp theo

Vì vậy, những điểm quan trọng của H2D là giảm chi phí môi trường, an toàn thông qua pha loãng hydro một cách an toàn và cũng cải thiện năng suất cho khách hàng của chúng tôi.