Những thách thức mà EUV phải đối mặt trong sản xuất số lượng lớn là gì?

Nhu cầu toàn cầu về chất bán dẫn đang ở mức cao nhất mọi thời đại và khách hàng của Edwards tập trung vào việc tối đa hóa sản lượng để đáp ứng nhu cầu và đạt được lợi nhuận tốt từ đầu tư bền vững.

Edwards hiểu nhu cầu tối đa hóa thời gian hoạt động và công suất của EUV và có vị trí độc đáo, với hơn 20 năm dữ liệu chân không và xử lý khí và phân tích hiệu suất, để giúp khách hàng đạt được mục tiêu năng suất và tính bền vững.

Được hỗ trợ bởi khả năng sản xuất hiện đại và cơ sở hạ tầng dịch vụ toàn cầu, Edwards cung cấp giải pháp EUV hoàn chỉnh đồng thời tạo ra giá trị môi trường và xã hội không chỉ cho khách hàng mà còn cho tất cả các bên liên quan.

David Engerran khám phá những thách thức trong EUV HVM và cách Edwards giải quyết chúng.

Như chúng ta đã biết, sản xuất chất bán dẫn mất vài tháng, với các wafer đi qua nhiều công cụ xử lý.

Công cụ in litho là công cụ tiên tiến nhất và là một trong những nút cổ chai tiềm năng, chiến lược nhất trong mọi nhà máy sản xuất. Hơn nữa, hiện nay, để sản xuất các chất bán dẫn tiên tiến nhất, cần có EUV. Công nghệ litho cực tím cho phép các nhà sản xuất tiếp tục giảm tính năng và kích thước thiết bị, điều này đã xác định tiến bộ trong sản xuất chất bán dẫn từ những ngày đầu tiên.

Công suất tổng thể của hệ thống về cơ bản là cố định, vì vậy những nỗ lực để đảm bảo ROI phải tập trung vào việc tối đa hóa tính khả dụng của hệ thống, giảm thiểu chi phí vận hành và giảm tác động môi trường của các quy trình sản xuất.

VIDEO & BẢN SAO

David Engerran khám phá những thách thức trong EUV HVM và cách Edwards giải quyết chúng.

Thách thức của quy trình

Hiểu được thách thức của quy trình từ góc độ chân không và xử lý khí là một khía cạnh quan trọng trong việc tối đa hóa tính khả dụng của dụng cụ. Chiếu sáng EUV bước sóng ngắn hơn cho phép tạo ra các tính năng nhỏ hơn, nhưng cũng làm cho hệ thống in litho phức tạp hơn nhiều. Ánh sáng EUV được hấp thụ mạnh bởi bất kỳ vật liệu nào và yêu cầu sử dụng quang học phản chiếu chính xác và ngăn chặn chân không cho toàn bộ đường đi của chùm tia.

Để đảm bảo các bộ phận quang học quan trọng này không bị nhiễm bẩn, hydro được sử dụng trong quy trình EUV để phản ứng với các vật liệu quy trình và loại bỏ chúng khỏi công cụ quy trình và đưa chúng vào hệ thống chân không. Bây giờ là lúc mà các hệ thống chân không và xử lý khí được yêu cầu để quản lý các dòng hydro cao này một cách an toàn và hiệu quả.

Edwards giải quyết những thách thức này như thế nào?

Nghệ thuật đổi mới nằm ở việc tìm ra các cách để đảm bảo sự an toàn của nhân viên Nhà máy, cộng đồng xung quanh và môi trường, đồng thời nâng cao hiệu quả và giảm chi phí vận hành.

EUV sử dụng một lượng đáng kể hydro tạo ra sự tập trung cao vào an toàn và môi trường do tính chất dễ cháy của nó trong không khí. Hệ thống EUV của Edwards sử dụng bơm chân không được thiết kế đặc biệt cho quy trình EUV, tích hợp bẫy để thu các hợp chất phản ứng. Toàn bộ hệ thống bao gồm các cảm biến an toàn để đảm bảo không có hỗn hợp dễ cháy nào đi qua hệ thống. Theo truyền thống, việc sử dụng các hệ thống xử lý đốt nhiên liệu đã được sử dụng để đốt cháy hydro ở hạ nguồn của bơm chân không, tuy nhiên phương pháp này đòi hỏi năng lượng và nguồn lực đáng kể và yêu cầu bảo trì liên tục.

Phương pháp tiếp cận không sử dụng nhiên liệu mới của chúng tôi thay vì xử lý bằng nhiên liệu và cung cấp sự pha loãng an toàn của hydro đến mức thấp hơn đáng kể so với phạm vi dễ cháy. Điều này đồng thời đảm bảo an toàn mọi lúc và giảm đáng kể nhu cầu năng lượng.

May mắn thay, chính hydro không có tác động tiêu cực đến môi trường. Khi nồng độ của nó dưới mức dễ cháy tối thiểu, nó khá an toàn. Quản lý hydro không nhiên liệu dựa trên sự hiểu biết sâu sắc về mức độ dễ cháy, công nghệ pha loãng và tiêu chuẩn an toàn công nghiệp. Hoạt động quan trọng là pha loãng hydro bằng không khí, một cách tiếp cận ngược trực quan. Tuy nhiên, bằng cách duy trì đường dẫn quan trọng, nơi hỗn hợp dễ cháy, rất ngắn và được giám sát cẩn thận, khí được pha loãng nhanh chóng đến nồng độ không dễ cháy có thể được vận chuyển an toàn qua Fab và được giải phóng trực tiếp vào không khí.

Quản lý hydro không cần nhiên liệu giúp loại bỏ chi phí nhiên liệu và phát thải carbon của quá trình đốt cháy được kiểm soát và chi phí cao của nitơ để pha loãng. Được hỗ trợ bởi khả năng sản xuất hiện đại và cơ sở hạ tầng dịch vụ toàn cầu, Edwards cung cấp giải pháp EUV hoàn chỉnh, đồng thời đảm bảo tạo ra giá trị môi trường và xã hội, không chỉ cho khách hàng mà còn cho tất cả các bên liên quan.

Được hỗ trợ bởi khả năng sản xuất hiện đại và cơ sở hạ tầng dịch vụ toàn cầu, Edwards cung cấp giải pháp EUV hoàn chỉnh đồng thời tạo ra giá trị môi trường và xã hội, không chỉ cho khách hàng mà còn cho tất cả các bên liên quan.