Edwards Proteus
Edwards Proteus muliggør effektiv behandling af PFC og andre globalt opvarmende gasser uden brug af naturgas eller andre kulbrinter.
Proteus er en brugervenlig og omkostningseffektiv løsning med lavt strømforbrug til reduktion af kulstofaftrykket fra halvlederproduktion.
- Plasmateknologi med lav effekt og høj effektivitet
- Plasmaeffektmodulation
- Lave NOx-emissioner
- Lang MTBS
- Beskyttelse af oppetid med Proteus Dual
- En unik plasmateknologi med lav effekt, der opnår en høj destruktionseffektivitet (DRE) for PFC-gasser som CF4 og andre globalt opvarmende gasser som SF6, NF3 og N2O. Det gør Proteus til en af de mest omkostningseffektive løsninger til reduktion af globale opvarmningsgasser fra halvlederproduktionsprocesser.
- Proteus Plasmas driftseffekt er fuldt justerbar i forhold til den indkommende gasbelastning, hvilket giver brugerne mulighed for at minimere strømforbruget og samtidig opretholde optimal behandlingseffektivitet. Grænsefladen til procesværktøjet og den automatiske Plasma Power Modulation giver yderligere muligheder for at reducere driftsomkostningerne og samtidig opretholde den højeste miljømæssige ydeevne.
- PFC-gasreduktion kræver høje temperaturer, der fremmer dannelsen af NOx-gasser. Proteus Plasma-teknologien blev udviklet for at minimere "termiske NOx"-emissioner og er nu et af de førende PFC-reduktionssystemer med "lav NOx".
- Ødelæggelsen af PFC-molekyler har en tendens til at øge syrebelastningen ved at skabe giftige og ætsende vandopløselige forbindelser. Proteus Plasma-brænder og vådskrubbetrin er specielt designet til at minimere komponentkorrosion. Kombineret med en fremragende pulverhåndteringsevne er Proteus i stand til at opnå lang MTBS, samtidig med at der opretholdes et sikkert arbejdsmiljø i fabrikken.
- Proteus Dual tilbyder en fuldt integreret "backup"-løsning, der hjælper med at sikre reduktionstilgængelighed uden behov for komplicerede rør og grænseflader. Proteus Dual er en omkostningseffektiv løsning, der er nem at installere. Det hjælper med at opretholde procesoppetiden, reducere fodaftrykket og installationsomkostningerne, samtidig med at det forbedrer sikkerheden i underfabrikken.
