Edwards Proteus
Edwards Proteus, doğal gaz veya diğer hidrokarbonlar kullanılmadan PFC ve diğer küresel ısınma gazlarının etkili bir şekilde işlenmesini sağlar.
Proteus, yarı iletken üretiminin karbon ayak izini azaltmak için düşük enerji tüketimli, kullanıcı dostu ve maliyet etkin bir çözümdür.
- Düşük güç tüketimi, yüksek verimlilikli Plazma teknolojisi
- Plazma Güç Modülasyonu
- Düşük NOx emisyonları
- Uzun MTBS
- Proteus Dual ile çalışma süresi koruması
- CF4 gibi PFC gazları ve SF6, NF3 ve N2O gibi diğer küresel ısınma gazlarının yüksek yok etme oranı verimliliğine (DRE) ulaşan benzersiz, düşük güçlü Plazma Teknolojisi. Bu, Proteus'u yarı iletken üretim süreçlerinden küresel ısınma gazlarının azaltılması için en maliyet etkin çözümlerden biri yapmaktadır.
- Proteus Plasma'nın çalışma gücü, gelen gaz yüküne bağlı olarak tamamen ayarlanabilir olup, kullanıcıların güç tüketimini en aza indirirken optimum işlem verimliliğini korumasını sağlar. İşlem aracıyla arayüz oluşturma ve otomatik Plazma Gücü Modülasyonu, en yüksek çevresel performansı korurken işletme maliyetlerini azaltmak için ek fırsatlar sunar.
- PFC gaz giderimi, NOx gazlarının oluşumunu teşvik eden yüksek sıcaklıklar gerektirir. Proteus Plazma teknolojisi, "termal NOx" emisyonlarını en aza indirmek için geliştirilmiş olup, şu anda önde gelen "düşük NOx" PFC giderim sistemlerinden biri olarak öne çıkmaktadır.
- PFC moleküllerinin yok edilmesi, toksik ve aşındırıcı suya çözünebilen bileşiklerin oluşumu yoluyla asit yükünü artırma eğilimindedir. Proteus Plazma meşalesi ve ıslak yıkama aşamaları, bileşen korozyonunu en aza indirmek için özel olarak tasarlanmıştır. Mükemmel toz işleme kapasitesi ile birleştiğinde, Proteus, fabrika ortamında güvenli bir çalışma ortamını korurken uzun MTBS sürelerine ulaşabilmektedir.
- Proteus Dual, karmaşık borulama ve arayüz gerektirmeden arıtma kullanılabilirliğini güvence altına almaya yardımcı olan tamamen entegre bir “yedekleme” çözümü sunar. Proteus Dual, maliyet etkin ve kurulumu kolay bir çözümdür. İşlem çalışma süresini korumaya, alan kullanımını ve kurulum maliyetlerini azaltmaya yardımcı olurken, alt fabrika güvenliğini artırır.
