Edwards Proteus
Edwards Proteus umożliwia skuteczne oczyszczanie gazów PFC i innych gazów cieplarnianych bez użycia gazu ziemnego ani innych węglowodorów.
Proteus to rozwiązanie o niskim zużyciu energii, przyjazne dla użytkownika i opłacalne, służące do redukcji śladu węglowego w produkcji półprzewodników.
- Technologia plazmowa o niskim zużyciu energii i wysokiej wydajności
- Modulacja mocy plazmy
- Niskie emisje NOx
- Długi MTBS
- Ochrona czasu pracy dzięki Proteus Dual
- Unikalna, niskoprądowa technologia plazmowa osiągająca wysoką skuteczność wskaźnika destrukcji (DRE) gazów PFC, takich jak CF4, oraz innych gazów cieplarnianych, takich jak SF6, NF3 i N2O. Dzięki temu Proteus jest jednym z najbardziej opłacalnych rozwiązań do redukcji gazów cieplarnianych powstających w procesach produkcji półprzewodników.
- Moc operacyjna Proteus Plasma jest w pełni regulowana w zależności od obciążenia gazem, co pozwala użytkownikom minimalizować zużycie energii przy jednoczesnym utrzymaniu optymalnej efektywności procesu. Integracja z narzędziem procesowym oraz automatyczna modulacja mocy plazmy oferują dodatkowe możliwości obniżenia kosztów eksploatacji przy zachowaniu najwyższej wydajności środowiskowej.
- Redukcja gazów PFC wymaga wysokich temperatur, które sprzyjają powstawaniu gazów NOx. Technologia Proteus Plasma została opracowana w celu minimalizacji emisji „termicznych NOx” i obecnie jest jednym z wiodących systemów redukcji PFC o niskiej emisji NOx.
- The destruction of PFC molecules tends to increase the acid loading through the creation of toxic and corrosive water soluble compounds. Proteus Plasma torch and wet scrubbing stages have been specifically designed to minimise component corrosion. Combined with an excellent powder handling capability, Proteus is able to achieve long MTBS whilst maintaining a safe working environment in the Fab.
- Proteus Dual oferuje w pełni zintegrowane rozwiązanie „zapasowe”, które pomaga zabezpieczyć dostępność systemu redukcji emisji bez konieczności stosowania skomplikowanego okablowania i interfejsów. Proteus Dual to opłacalne i łatwe w instalacji rozwiązanie. Pomaga utrzymać ciągłość procesu, zmniejszyć zajmowaną powierzchnię i koszty instalacji, jednocześnie zwiększając bezpieczeństwo podfabrykacji.
