Proteus de Edwards
Proteus de Edwards permite el tratamiento eficaz de PFC y otros gases de calentamiento global sin el uso de gas natural u otros hidrocarburos.
Proteus es una solución de bajo consumo de energía, fácil de usar y rentable para reducir la huella de carbono de la fabricación de semiconductores.
- Tecnología de plasma de baja potencia y alta eficiencia
- Modulación de potencia de plasma
- Bajas emisiones de NOx
- MTBS largo
- Protección del tiempo de actividad con Proteus Dual
- Una tecnología de plasma única y de baja potencia que logra una alta eficiencia de tasa de destrucción (DRE) de gases PFC como el CF4 y otros gases de calentamiento global como SF6, NF3 y N2O. Esto convierte a Proteus en una de las soluciones más rentables para la reducción de los gases de calentamiento global de los procesos de fabricación de semiconductores.
- La potencia de funcionamiento de Proteus Plasma es totalmente ajustable en función de la carga de gas entrante, lo que permite a los usuarios minimizar el consumo de energía manteniendo al mismo tiempo una eficiencia óptima del tratamiento. La interacción con la herramienta de proceso y la modulación automática de la potencia del plasma ofrece más oportunidades para reducir los costes operativos manteniendo al mismo tiempo el máximo rendimiento medioambiental.
- La reducción de gases PFC requiere altas temperaturas que promuevan la formación de gases NOx. La tecnología Proteus Plasma se desarrolló para minimizar las emisiones de “NOx térmico” y ahora es uno de los principales sistemas de reducción de PFC de “NOx bajo”.
- La destrucción de las moléculas de PFC tiende a aumentar la carga ácida a través de la creación de compuestos tóxicos y corrosivos solubles en agua. Las antorchas de plasma Proteus y las etapas de depuración en húmedo se han diseñado específicamente para minimizar la corrosión de los componentes. Combinado con una excelente capacidad de manipulación de polvo, Proteus es capaz de lograr una MTBS larga mientras mantiene un entorno de trabajo seguro en la fábrica.
- Proteus Dual ofrece una solución de “reserva” totalmente integrada para ayudar a garantizar la disponibilidad de la reducción sin necesidad de complicadas tuberías e interfaces. Proteus Dual es una solución rentable y fácil de instalar. Ayuda a mantener el tiempo de actividad del proceso, reducir el tamaño y los costes de instalación, a la vez que mejora la seguridad de la subfábrica.
