Edwards Proteus
Edwards Proteus mahdollistaa PFC- ja muiden kasvihuonekaasujen tehokkaan käsittelyn ilman maakaasun tai muiden hiilivetyjen käyttöä.
Proteus on vähävirrankulutuksinen, käyttäjäystävällinen ja kustannustehokas ratkaisu puolijohdeteollisuuden hiilijalanjäljen pienentämiseen.
- Matala teho, korkea hyötysuhde Plasma-teknologia
- Plasman tehonsäätö
- Matala NOx-päästö
- Pitkä MTBS
- Käytettävyysturva Proteus Dualilla
- Ainutlaatuinen, vähävirtainen plasmateknologia, joka saavuttaa korkean tuhoamisasteen (DRE) PFC-kaasuille, kuten CF4:lle, sekä muille kasvihuonekaasuille, kuten SF6:lle, NF3:lle ja N2O:lle. Tämä tekee Proteuksesta yhden kustannustehokkaimmista ratkaisuista kasvihuonekaasujen vähentämiseen puolijohdeteollisuuden valmistusprosesseissa.
- Proteus Plasman käyttöteho on täysin säädettävissä saapuvan kaasukuorman mukaan, mikä mahdollistaa käyttäjien minimoida energiankulutuksen säilyttäen samalla optimaalisen käsittelytehokkuuden. Prosessityökalun kanssa tapahtuva liitäntä ja automaattinen plasman tehon modulointi tarjoavat lisämahdollisuuksia toimintakustannusten vähentämiseen säilyttäen samalla korkean ympäristötehokkuuden.
- PFC-kaasujen puhdistus vaatii korkeita lämpötiloja, jotka edistävät typen oksidien (NOx) muodostumista. Proteus Plasma -teknologia kehitettiin minimoimaan "lämpö-NOx"-päästöt, ja se on nyt yksi johtavista "vähä-NOx"-PFC-puhdistusjärjestelmistä.
- PFC-molekyylien hajoaminen lisää happokuormitusta myrkyllisten ja syövyttävien vesiliukoisten yhdisteiden muodostumisen kautta. Proteus Plasma -liekin ja märkäpuhdistusvaiheiden on erityisesti suunniteltu minimoimaan komponenttien korroosiota. Yhdistettynä erinomaisiin jauheen käsittelyominaisuuksiin, Proteus pystyy saavuttamaan pitkät MTBS-arvot säilyttäen samalla turvallisen työympäristön valmistuslaitoksessa.
- Proteus Dual tarjoaa täysin integroidun "varajärjestelmän", joka auttaa turvaamaan päästöjen vähentämisen saatavuuden ilman monimutkaisia putkistoja ja liitäntöjä. Proteus Dual on kustannustehokas ja helppo asentaa oleva ratkaisu. Se auttaa ylläpitämään prosessin käyttöaikaa, vähentämään tilantarvetta ja asennuskustannuksia sekä parantamaan alafabriikin turvallisuutta.
