Proteus da Edwards
O Proteus da Edwards permite o tratamento eficaz de PFC e outros gases de aquecimento global sem a utilização de gás natural ou outros hidrocarbonetos.
O Proteus é uma solução de baixo consumo de energia, fácil de utilizar e económica para reduzir a pegada de carbono do fabrico de semicondutores.
- Baixa potência, alta eficiência Tecnologia de plasma
- Modulação da potência do plasma
- Baixas emissões de NOx
- MTBS longo
- Proteção do tempo de atividade com o Proteus Dual
- Uma tecnologia de plasma única e de baixa potência que atinge uma elevada eficiência de taxa de destruição (DRE) de gases PFC, tais como CF4, e outros gases de aquecimento global, tais como SF6, NF3 e N2O. Isto torna o Proteus uma das soluções mais rentáveis para a redução dos gases de aquecimento global dos processos de fabrico de semicondutores.
- A potência de funcionamento do Proteus Plasma é totalmente ajustável em função da carga de gás de entrada, permitindo aos utilizadores minimizar o consumo de energia, mantendo ao mesmo tempo a eficiência ideal do tratamento. A interface com a ferramenta de processo e a modulação automática da potência do plasma oferece mais oportunidades para reduzir os custos operacionais, mantendo ao mesmo tempo o mais elevado desempenho ambiental.
- A redução de gás PFC requer temperaturas elevadas que promovem a formação de gases NOx. A tecnologia Proteus Plasma foi desenvolvida para minimizar as emissões "térmicas de NOx" e é agora um dos principais sistemas de redução de PFC "baixo NOx".
- A destruição das moléculas de PFC tende a aumentar a carga ácida através da criação de compostos tóxicos e corrosivos solúveis em água. A tocha de plasma Proteus e os estágios de lavagem húmida foram especificamente concebidos para minimizar a corrosão dos componentes. Combinado com uma excelente capacidade de manuseamento de pó, o Proteus é capaz de alcançar um MTBS longo, mantendo um ambiente de trabalho seguro no Fab.
- O Proteus Dual oferece uma solução de "reserva" totalmente integrada para ajudar a garantir a disponibilidade de abate sem a necessidade de tubagens e interfaces complicadas. O Proteus Dual é uma solução económica e fácil de instalar. Ajuda a manter o tempo de atividade do processo, a reduzir a pegada e os custos de instalação, ao mesmo tempo que melhora a segurança da subfábrica.
