Edwards Proteus
Edwards Proteus möjliggör effektiv behandling av PFC och andra globalt uppvärmningsgaser utan användning av naturgas eller andra kolväten.
Proteus är en användarvänlig och kostnadseffektiv lösning med låg energiförbrukning för att minska koldioxidavtrycket från halvledartillverkning.
- Låg effekt, högeffektiv plasmateknik
- Plasmaeffektmodulering
- Låga NOx-utsläpp
- Lång MTBS
- Drifttidsskydd med Proteus Dual
- En unik lågeffektsplasmateknik som uppnår hög förstörelsegrad (DRE) för PFC-gaser som CF4 och andra gaser med global uppvärmning som SF6, NF3 och N2O. Detta gör Proteus till en av de mest kostnadseffektiva lösningarna för att minska den globala uppvärmningen av gaser från halvledartillverkningsprocesser.
- Proteus Plasmas drifteffekt är helt justerbar beroende på den inkommande gasbelastningen, vilket gör att användarna kan minimera strömförbrukningen samtidigt som optimal behandlingseffektivitet bibehålls. Gränssnitt med processverktyget och automatisk plasmaeffektmodulering ger ytterligare möjligheter att minska driftskostnaderna samtidigt som högsta miljöprestanda bibehålls.
- PFC-gasreduktion kräver höga temperaturer som främjar bildandet av NOx-gaser. Proteus Plasma-tekniken utvecklades för att minimera utsläppen av ”termisk NOx” och är nu ett av de ledande PFC-reduktionssystemen med ”låg NOx”.
- Förstörelsen av PFC-molekyler tenderar att öka syrabelastningen genom att skapa giftiga och korrosiva vattenlösliga föreningar. Proteus plasmabrännare och våtskrubbningssteg har utformats specifikt för att minimera komponentkorrosion. I kombination med en utmärkt pulverhanteringsförmåga kan Proteus uppnå lång MTBS samtidigt som man upprätthåller en säker arbetsmiljö i fabriken.
- Proteus Dual erbjuder en helt integrerad ”backup”-lösning som hjälper till att säkerställa reduktionstillgänglighet utan behov av komplicerade rörledningar och gränssnitt. Proteus Dual är en kostnadseffektiv lösning som är enkel att installera. Den hjälper till att upprätthålla processens drifttid, minska utrymmesbehovet och installationskostnaderna, samtidigt som den förbättrar säkerheten i delfabriken.
