Edwards Proteus
Edwards Proteus membolehkan rawatan berkesan terhadap PFC dan gas pemanasan global lain tanpa menggunakan gas asli atau hidrokarbon lain.
Proteus adalah penyelesaian yang menggunakan tenaga rendah, mesra pengguna dan kos efektif untuk mengurangkan jejak karbon dalam pembuatan semikonduktor.
- Teknologi Plasma berkuasa rendah, kecekapan tinggi
- Modulasi Kuasa Plasma
- Emisi NOx rendah
- MTBS Panjang
- Perlindungan masa operasi dengan Proteus Dual
- Teknologi Plasma unik berkuasa rendah yang mencapai kecekapan kadar pemusnahan tinggi (DRE) bagi gas PFC seperti CF4 dan gas pemanasan global lain seperti SF6, NF3 dan N2O. Ini menjadikan Proteus salah satu penyelesaian yang paling kos efektif untuk pengurangan gas pemanasan global daripada proses pembuatan semikonduktor.
- Kuasa operasi Proteus Plasma boleh dilaras sepenuhnya mengikut beban gas masuk, membolehkan pengguna meminimumkan penggunaan kuasa sambil mengekalkan kecekapan rawatan yang optimum. Antara muka dengan alat proses dan Modulasi Kuasa Plasma automatik menawarkan peluang tambahan untuk mengurangkan kos operasi sambil mengekalkan prestasi alam sekitar yang tertinggi.
- Pengurangan gas PFC memerlukan suhu tinggi yang menggalakkan pembentukan gas NOx. Teknologi Plasma Proteus dibangunkan untuk meminimumkan pelepasan "NOx terma" dan kini berdiri sebagai salah satu sistem pengurangan PFC "NOx rendah" terkemuka.
- Pemusnahan molekul PFC cenderung meningkatkan beban asid melalui pembentukan sebatian larut air yang toksik dan menghakis. Torch plasma Proteus dan peringkat pengikisan basah telah direka khusus untuk meminimumkan kakisan komponen. Digabungkan dengan keupayaan pengendalian serbuk yang cemerlang, Proteus mampu mencapai MTBS yang panjang sambil mengekalkan persekitaran kerja yang selamat di Fab.
- Proteus Dual menawarkan penyelesaian "sandaran" yang sepenuhnya bersepadu untuk membantu memastikan ketersediaan pengurangan tanpa perlu paip dan antara muka yang rumit. Proteus Dual adalah penyelesaian yang kos efektif dan mudah dipasang. Ia membantu mengekalkan masa operasi proses, mengurangkan jejak dan kos pemasangan, sambil meningkatkan keselamatan sub-fab.
