Edwards Proteus
Zariadenie Edwards Proteus umožňuje účinné spracovanie PFC a iných plynov spôsobujúcich globálne otepľovanie bez použitia zemného plynu alebo iných uhľovodíkov.
Proteus je nízkoenergetické, používateľsky príjemné a nákladovo efektívne riešenie na zníženie uhlíkovej stopy výroby polovodičov.
- Nízkoenergetická, vysokoúčinná plazmová technológia
- Modulácia výkonu plazmy
- Nízke emisie NOx
- Dlhý MTBS
- Ochrana bezporuchovosti s Proteus Dual
- Jedinečná plazmová technológia s nízkym výkonom, ktorá dosahuje vysokú účinnosť rýchlosti deštrukcie (DRE) plynov PFC, ako je CF4, a iných plynov globálneho otepľovania, ako sú SF6, NF3 a N2O. Vďaka tomu je Proteus jedným z najhospodárnejších riešení na zníženie globálneho otepľovania plynov z výrobných procesov polovodičov.
- Prevádzkový výkon zariadenia Proteus Plasma je plne nastaviteľný v závislosti od prívodu plynu, čo umožňuje používateľom minimalizovať spotrebu energie pri zachovaní optimálnej účinnosti liečby. Rozhranie s procesným nástrojom a automatická modulácia plazmového výkonu ponúkajú ďalšie príležitosti na zníženie prevádzkových nákladov pri zachovaní najvyššieho environmentálneho výkonu.
- Redukcia plynu PFC si vyžaduje vysoké teploty, ktoré podporujú tvorbu plynov NOx. Technológia Proteus Plasma bola vyvinutá na minimalizáciu „tepelných emisií NOx“ a v súčasnosti je jedným z popredných systémov na zníženie „nízkych NOx“ PFC.
- Deštrukcia molekúl PFC má tendenciu zvyšovať zaťaženie kyselinami prostredníctvom tvorby toxických a korozívnych zlúčenín rozpustných vo vode. Plazmový horák Proteus a stupne mokrého umývania boli špeciálne navrhnuté tak, aby minimalizovali koróziu komponentov. V kombinácii s vynikajúcou schopnosťou manipulácie s práškom dokáže spoločnosť Proteus dosiahnuť dlhú MTBS pri zachovaní bezpečného pracovného prostredia vo výrobnom závode.
- Proteus Dual ponúka plne integrované „záložné“ riešenie, ktoré pomáha zabezpečiť dostupnosť úpravy bez potreby komplikovaného potrubia a prepojenia. Proteus Dual je nákladovo efektívne riešenie s jednoduchou inštaláciou. Pomáha udržiavať čas prevádzkyschopnosti procesu, znižovať pôdorysné rozmery a náklady na inštaláciu a súčasne zvyšovať bezpečnosť subfab.
