¿Cuáles son los desafíos que enfrenta la tecnología EUV en la fabricación de alto volumen?

Comprender el desafío del proceso desde una perspectiva de vacío y abatimiento es un aspecto clave para maximizar la disponibilidad de la herramienta. La iluminación EUV de longitud de onda más corta permite la creación de características más pequeñas, pero también hace que el sistema de litografía sea mucho más complejo. La luz EUV es fuertemente absorbida por cualquier materia y requiere el uso de ópticas reflectantes de precisión y el confinamiento al vacío de todo el trayecto del haz.

Para garantizar que estas ópticas críticas permanezcan libres de contaminantes, se utiliza hidrógeno en el proceso EUV para reaccionar con los materiales del proceso y eliminarlos de la herramienta de proceso, transportándolos al sistema de vacío. Es aquí donde se requieren sistemas de vacío y de depuración para gestionar estos altos flujos de hidrógeno de manera segura y eficaz.

El arte de la innovación radica en encontrar formas de garantizar la seguridad del personal de la fábrica, de la comunidad circundante y del medio ambiente, al mismo tiempo que se mejora la eficiencia y se reducen los costos operativos.

La tecnología EUV utiliza una cantidad significativa de hidrógeno, lo que genera una gran preocupación por la seguridad y el medio ambiente debido a su naturaleza inflamable en el aire. Los sistemas EUV de Edwards emplean bombas de vacío diseñadas específicamente para el proceso EUV, que incorporan trampas para capturar los compuestos reaccionados. Todo el sistema incluye sensores de seguridad para garantizar que no haya mezclas inflamables presentes en el sistema. Tradicionalmente, se han utilizado sistemas de abatimiento con combustión de combustible para quemar el hidrógeno aguas abajo de las bombas de vacío; sin embargo, este método requiere una cantidad significativa de energía y recursos, además de un mantenimiento continuo.

Nuestro nuevo enfoque sin combustible se aleja de la reducción mediante combustión y ofrece una dilución segura del hidrógeno a niveles significativamente por debajo del rango inflamable. Esto, garantizando la seguridad en todo momento y reduciendo enormemente los requerimientos energéticos.

Afortunadamente, el hidrógeno en sí no tiene un impacto ambiental negativo. Una vez que su concentración está por debajo del nivel mínimo de inflamabilidad, es bastante seguro. La gestión del hidrógeno sin combustible se basa en un conocimiento profundo de los niveles de inflamabilidad, las tecnologías de dilución y las normas de seguridad industrial. La operación crítica es la dilución del hidrógeno con aire, un enfoque contraintuitivo. Sin embargo, al mantener la trayectoria crítica, donde la mezcla es inflamable, muy corta y cuidadosamente controlada, el gas se diluye rápidamente hasta concentraciones no inflamables que pueden ser transportadas de forma segura a través de la fábrica y liberadas directamente a la atmósfera.

La gestión de hidrógeno sin combustible elimina el costo del combustible y las emisiones de carbono de la combustión controlada, así como el alto costo del nitrógeno para la dilución. Respaldada por capacidades de fabricación de última generación e infraestructura de servicio global, Edwards ofrece la solución total para EUV, asegurando además la creación de valor ambiental y social, no solo para sus clientes sino para todos los interesados involucrados.

Respaldado por capacidades de fabricación de última generación e infraestructura global de servicio, Edwards ofrece la solución total para EUV, al mismo tiempo que crea valor ambiental y social, no solo para sus clientes sino para todas las partes interesadas.