Jaké jsou výzvy, kterým čelí EUV ve velkoobjemové výrobě?

Celosvětová poptávka po polovodičích je na rekordně vysoké úrovni a zákazníci společnosti Edwards se zaměřují na maximalizaci výkonu, aby uspokojili poptávku a získali dobrou návratnost udržitelných investic.

Provozuschopnost a průchodnost vývěv EUV je pro nás nezbytná. Díky více než 20letým zkušenostem s analýzou vakua, výfukových plynů a výkonu máme jedinečnou pozici k tomu, abychom našim zákazníkům pomohli dosáhnout jejich cílů v oblasti produktivity a udržitelnosti.

Společnost Edwards, podporovaná nejmodernějšími výrobními kapacitami a globální infrastrukturou servisu, nabízí kompletní řešení EUV a zároveň vytváří ekologickou a sociální hodnotu nejen pro své zákazníky, ale i pro všechny zúčastněné strany.

David Engerran zkoumá, jaké jsou problémy v EUV HVM a jak je společnost Edwards řeší.

Jak víme, výroba polovodičů trvá několik měsíců, přičemž pojezdy procházejí mnoha procesními nástroji.

Nejpokročilejším a jedním z nejstrategičtějších potenciálních problémů v každé výrobě je litografické nářadí. O to více je nyní pro výrobu nejpokročilejších polovodičů vyžadováno EUV. Extrémní ultrafialová litografie umožňuje výrobcům pokračovat ve zmenšování rozměrů prvků a zařízení, což definuje pokrok ve výrobě polovodičů od počátku.

Celkový výkon systému je v podstatě pevný, takže úsilí o zajištění návratnosti investice se musí zaměřit na maximalizaci dostupnosti systému, minimalizaci provozních nákladů a snížení dopadu výrobních procesů na životní prostředí.

VIDEO A PŘEPIS

David Engerran zkoumá, jaké jsou problémy v EUV HVM a jak je společnost Edwards řeší.

Výzva procesu

Pochopení problémů procesu z hlediska vakua a odtahu je jedním z klíčových aspektů maximalizace dostupnosti nářadí. Osvětlení EUV s kratší vlnovou délkou umožňuje vytvářet menší prvky, ale také výrazně komplikuje litografický systém. EUV světlo je silně absorbováno jakoukoli látkou a vyžaduje použití přesné reflexní optiky a vakuové izolace celé dráhy paprsku.

Aby tato kritická optika zůstala bez kontaminantů, používá se v procesu EUV vodík k reakci s procesními materiály a jejich odstranění z procesního nářadí a přepravě do vakuového systému. Právě zde jsou vakuové a výfukové systémy nezbytné k bezpečnému a účinnému řízení těchto vysokých průtoků vodíku.

Jak společnost Edwards tyto výzvy řeší?

Umění inovací spočívá v hledání způsobů, jak zajistit bezpečnost zaměstnanců společnosti Fab, okolní komunity a životního prostředí, a zároveň zvýšit efektivitu a snížit provozní náklady.

EUV používá značné množství vodíku, který díky své hořlavé povaze ve vzduchu klade velký důraz na bezpečnost a životní prostředí. Systémy Edwards EUV používají vývěvy navržené speciálně pro procesy EUV a integrované lapače k zachycování reakčních sloučenin. Celý systém je vybaven bezpečnostními snímači, které zajišťují, že v systému není přítomna hořlavá směs. Tradičně se k spalování vodíku za vývěvami používaly palivové systémy pro čištění, tato metoda však vyžaduje značnou energii a zdroje a vyžaduje průběžnou údržbu.

Náš nový bezpalivový přístup se oddaluje od čištění palivem a nabízí bezpečné ředění vodíku na hladiny výrazně pod hořlavým rozsahem. To vše při současném zajištění bezpečnosti za všech okolností a výrazném snížení spotřeby energie.

Samotný vodík naštěstí nemá žádný negativní dopad na životní prostředí. Jakmile jeho koncentrace klesne pod minimální úroveň hořlavosti, je zcela bezpečný. Řízení bezpalivového vodíku se spoléhá na důkladné porozumění úrovním hořlavosti, technologiím ředění a průmyslovým bezpečnostním normám. Kritickou operací je ředění vodíku vzduchem, což je kontraintuitivní přístup. Nicméně zachováním kritické dráhy, kde je směs hořlavá, velmi krátká a pečlivě monitorovaná, je plyn rychle zředěn na nehořlavé koncentrace, které mohou být bezpečně přenášeny přes Fab a uvolňovány přímo do atmosféry.

Řízení bezpalivového vodíku eliminuje náklady na palivo a emise uhlíku při kontrolovaném spalování a vysoké náklady na dusík při ředění. Společnost Edwards, podporovaná nejmodernějšími výrobními kapacitami a globální infrastrukturou servisu, nabízí kompletní řešení EUV a zároveň zajišťuje vytváření ekologické a sociální hodnoty nejen pro své zákazníky, ale i pro všechny zúčastněné strany.