Jakie są wyzwania związane z EUV w produkcji wielkoseryjnej?

Globalne zapotrzebowanie na półprzewodniki jest najwyższe w historii, a klienci firmy Edwards koncentrują się na maksymalizacji wydajności, aby sprostać zapotrzebowaniu i uzyskać dobry zwrot z inwestycji.

Firma Edwards rozumie potrzebę maksymalizacji czasu sprawnego działania i wydajności urządzeń EUV i dzięki ponad 20-letniemu doświadczeniu w dziedzinie danych dotyczących próżni i oczyszczania spalin oraz analizy wydajności jest w stanie pomóc swoim klientom w osiągnięciu celów w zakresie wydajności i zrównoważonego rozwoju.

Dzięki najnowocześniejszym możliwościom produkcyjnym i globalnej infrastrukturze serwisowej firma Edwards oferuje kompletne rozwiązanie EUV, jednocześnie tworząc wartość środowiskową i społeczną nie tylko dla swoich klientów, ale także dla wszystkich zaangażowanych interesariuszy.

David Engerran przygląda się wyzwaniom związanym z EUV HVM i wyjaśnia, w jaki sposób firma Edwards je rozwiązuje.

Jak wiemy, produkcja półprzewodników trwa kilka miesięcy, a płytki przechodzą przez liczne narzędzia technologiczne.

Najbardziej zaawansowanymi i jednym z najbardziej strategicznych, potencjalnych wąskich gardeł w każdej fabryce są narzędzia litograficzne. Tym bardziej, że do produkcji najbardziej zaawansowanych półprzewodników wymagana jest EUV. Litografia ultrafioletowa pozwala producentom kontynuować zmniejszanie rozmiarów cech i urządzeń, co od samego początku definiuje postęp w produkcji półprzewodników.

Ogólna wydajność systemu jest zasadniczo stała, dlatego wysiłki mające na celu zapewnienie zwrotu z inwestycji muszą koncentrować się na maksymalizacji dostępności systemu, minimalizacji kosztów operacyjnych i zmniejszeniu wpływu procesów produkcyjnych na środowisko.

FILM I TRANSKRYPCJA

David Engerran przygląda się wyzwaniom związanym z EUV HVM i wyjaśnia, w jaki sposób firma Edwards je rozwiązuje.

Wyzwania związane z procesem

Zrozumienie wyzwań procesowych z perspektywy próżni i oczyszczania spalin jest jednym z kluczowych aspektów maksymalizacji dostępności narzędzi. Oświetlenie EUV o krótszej długości fali umożliwia tworzenie mniejszych cech, ale również sprawia, że system litograficzny jest znacznie bardziej złożony. Światło EUV jest silnie pochłaniane przez każdą substancję i wymaga zastosowania precyzyjnych układów optycznych odbijających i zamknięcia próżniowego całej ścieżki wiązki.

Aby te krytyczne układy optyczne pozostały wolne od zanieczyszczeń, w procesie EUV wodór jest wykorzystywany do reakcji z materiałami technologicznymi i usuwania ich z narzędzia technologicznego oraz transportu do systemu próżniowego. To właśnie tutaj wymagane są systemy próżniowe i systemy oczyszczania spalin, aby bezpiecznie i skutecznie zarządzać tymi dużymi przepływami wodoru.

Jak firma Edwards rozwiązuje te problemy?

Sztuka innowacji polega na znalezieniu sposobów na zapewnienie bezpieczeństwa personelu fabryki, otaczającej społeczności i środowiska, a także na zwiększeniu wydajności i obniżeniu kosztów operacyjnych.

EUV wykorzystuje znaczną ilość wodoru, który ze względu na swoją palność w powietrzu kładzie duży nacisk na bezpieczeństwo i ochronę środowiska. Systemy EUV firmy Edwards wykorzystują pompy próżniowe zaprojektowane specjalnie do procesów EUV, z wbudowanymi pułapkami do wychwytywania związków wchodzących w reakcję. Cały system jest wyposażony w czujniki bezpieczeństwa, które zapewniają, że w systemie nie ma łatwopalnych mieszanin. Tradycyjnie do spalania wodoru za pompami próżniowymi stosowano systemy oczyszczania opalane paliwem, jednak ta metoda wymaga znacznej energii i zasobów oraz wymaga ciągłej konserwacji.

Nasze nowe podejście bezpaliwowe odchodzi od redukcji opartej na paliwie i oferuje bezpieczne rozcieńczanie wodoru do poziomów znacznie poniżej zakresu łatwopalności. Zapewnia to bezpieczeństwo przez cały czas i znacznie zmniejsza zapotrzebowanie na energię.

Na szczęście sam wodór nie ma negatywnego wpływu na środowisko. Gdy jego stężenie spadnie poniżej minimalnego poziomu łatwopalności, jest dość bezpieczny. Zarządzanie bezpaliwowym wodorem opiera się na dokładnym zrozumieniu poziomów palności, technologii rozcieńczania i norm bezpieczeństwa branżowego. Krytyczną operacją jest rozcieńczanie wodoru powietrzem, co jest podejściem kontraintuicyjnym. Jednak utrzymując ścieżkę krytyczną, gdzie mieszanina jest łatwopalna, bardzo krótka i starannie monitorowana, gaz jest szybko rozcieńczany do stężeń niepalnych, które mogą być bezpiecznie transportowane przez Fab i uwalniane bezpośrednio do atmosfery.

Bezpaliwowe zarządzanie wodorem eliminuje koszty paliwa i emisję dwutlenku węgla z kontrolowanego spalania oraz wysokie koszty rozcieńczania azotem. Dzięki najnowocześniejszym możliwościom produkcyjnym i globalnej infrastrukturze serwisowej firma Edwards oferuje kompletne rozwiązanie EUV, jednocześnie zapewniając wartość środowiskową i społeczną nie tylko dla swoich klientów, ale także dla wszystkich zaangażowanych interesariuszy.