Milyen kihívásokkal kell szembenéznie az EUV-nek a nagy mennyiségű gyártás során?

A félvezetők iránti globális kereslet eddigi legmagasabb szinten van, és az Edwards ügyfelei arra összpontosítanak, hogy maximalizálják a teljesítményt a kereslet kielégítése és a fenntartható befektetés jó megtérülése érdekében.

Az Edwards tisztában van az EUV rendelkezésre állási idejének és átbocsátási képességének maximalizálásának szükségességével, és több mint 20 éves vákuum- és kipufogógáz-kezelési adatokkal, valamint teljesítményelemzésekkel egyedülálló helyzetben van, hogy segítse ügyfeleit termelékenységi és fenntarthatósági céljaik elérésében.

A legkorszerűbb gyártási képességekkel és globális szervizinfrastruktúrával támogatott Edwards teljes körű EUV megoldást kínál, miközben nemcsak ügyfelei, hanem minden érintett fél számára környezeti és társadalmi értéket teremt.

David Engerran feltárja az EUV HVM kihívásait, és azt, hogy az Edwards hogyan oldja meg azokat.

Mint tudjuk, a félvezetők gyártása több hónapot vesz igénybe, és a lapkák számos technológiai eszközön haladnak át.

A legfejlettebb, és az egyik legstratégiaibb, potenciális szűk keresztmetszet minden gyárban a litográfiai eszközök. Még inkább, hogy a legfejlettebb félvezetők gyártásához EUV-re van szükség. Az extrém ultraibolya litográfia lehetővé teszi a gyártók számára, hogy tovább csökkentsék a jellemzőket és az eszközméreteket, ami már a korai napok óta meghatározza a félvezetőgyártás előrehaladását.

A rendszer teljes átbocsátási képessége lényegében rögzített, ezért a megtérülés biztosítására irányuló erőfeszítéseknek a rendszer rendelkezésre állásának maximalizálására, az üzemeltetési költségek minimalizálására és a gyártási folyamatok környezeti hatásának csökkentésére kell összpontosítaniuk.

VIDEÓ ÉS ÁTIRAT

David Engerran feltárja az EUV HVM kihívásait, és azt, hogy az Edwards hogyan oldja meg azokat.

A folyamat kihívása

A folyamat kihívásainak megértése a vákuum és a gázkezelés szemszögéből az egyik kulcsfontosságú szempont a szerszám rendelkezésre állásának maximalizálásában. A rövidebb hullámhosszú EUV megvilágítás kisebb alakzatok létrehozását teszi lehetővé, de a litográfiai rendszert is sokkal összetettebbé teszi. Az EUV fényt minden anyag erősen elnyeli, és precíziós visszaverő optikát és a teljes sugár útvonal vákuummeghatározását igényli.

Annak biztosítása érdekében, hogy ezek a kritikus optikák szennyeződésektől mentesek maradjanak, az EUV-folyamatban hidrogént használnak, hogy reakcióba lépjenek a folyamat anyagaival, majd eltávolítsák azokat a folyamateszközből, és a vákuumrendszerbe vigyék. Most itt van, hogy a vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszerek biztonságosan és hatékonyan kezeljék ezeket a nagy mennyiségű hidrogénáramlásokat.

Hogyan oldja meg az Edwards ezeket a kihívásokat?

Az innováció művészete abban rejlik, hogy hogyan biztosítható a gyár személyzetének, a környező közösségnek és a környezetnek a biztonsága, miközben növelhető a hatékonyság és csökkenthetők az üzemeltetési költségek.

Az EUV jelentős mennyiségű hidrogént használ, ami a levegőben lévő gyúlékonysága miatt nagy hangsúlyt fektet a biztonságra és a környezetre. Az Edwards EUV rendszerek kifejezetten az EUV-folyamatokhoz tervezett vákuumszivattyúkat használnak, beépített csapdákkal a reakcióba lépő vegyületek összegyűjtésére. A teljes rendszer biztonsági érzékelőkkel rendelkezik, amelyek biztosítják, hogy a rendszerben ne legyen gyúlékony keverék. A hidrogén vákuumszivattyúk utáni elégetéséhez hagyományosan üzemanyag-tüzelésű gázkezelő rendszereket használnak, azonban ez a módszer jelentős energiát és erőforrásokat igényel, és folyamatos karbantartást igényel.

Új üzemanyag-mentes megközelítésünk elmozdul az üzemanyaggal töltött gázoktól, és biztonságosan hígítja a hidrogént a gyúlékony tartomány alatti szintekre. Mindezt a biztonság mindenkori biztosítása és az energiaszükséglet jelentős csökkentése mellett.

Szerencsére magának a hidrogénnek nincs negatív környezeti hatása. Ha a koncentrációja a minimális gyúlékonysági szint alatt van, akkor meglehetősen biztonságos. Az üzemanyagmentes hidrogéngazdálkodás alapja a gyúlékonysági szintek, a hígítási technológiák és az ipari biztonsági szabványok alapos ismerete. A kritikus művelet a hidrogén levegővel történő hígítása, ami kontraintuitív megközelítés. Ugyanakkor a kritikus útvonal megtartásával, ahol a keverék gyúlékony, nagyon rövid és gondosan monitorozott, a gáz gyorsan hígul olyan nem gyúlékony koncentrációra, amely biztonságosan szállítható a gyárban, és közvetlenül a légkörbe engedhető.

Az üzemanyagmentes hidrogénkezelés kiküszöböli a szabályozott égés üzemanyagköltségét és szén-dioxid-kibocsátását, valamint a hígításhoz szükséges nitrogén magas költségét. A legkorszerűbb gyártási képességekkel és globális szervizinfrastruktúrával támogatva az Edwards teljes körű EUV-megoldást kínál, miközben biztosítja a környezeti és társadalmi értékteremtést nemcsak ügyfelei, hanem minden érintett fél számára.

A legkorszerűbb gyártási képességekkel és globális szervizinfrastruktúrával támogatott Edwards teljes körű EUV megoldást kínál, miközben környezeti és társadalmi értéket teremt nemcsak ügyfelei, hanem minden érdekelt fél számára is.