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대량 생산에서 EUV가 직면한 과제는 무엇인가요?

David Engerran, Edwards의 통합 시스템 글로벌 제품 관리자

반도체에 대한 글로벌 수요는 사상 최고조에 달하고 있으며 Edwards의 고객들은 수요를 충족하고 지속 가능한 투자에 대한 좋은 수익을 얻기 위해 생산량을 극대화하는 데 주력하고 있습니다. 

Edwards는 EUV 가동 시간 및 처리량을 극대화해야 할 필요성을 인식하고 있으며, 20년 이상의 진공 및 저감 데이터과 성능 분석을 통해 고객이 생산성 및 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 지원할 수 있는 독보적인 입지를 확보하고 있습니다.  

최첨단 제조 역량과 글로벌 서비스 인프라의 지원을 받는 Edwards는 종합적인 EUV 솔루션을 제공하는 동시에 고객뿐 아니라 관련된 모든 이해관계자를 위한 환경 및 사회적 가치를 창출합니다. 

David Engerran이 EUV HVM의 과제와 Edwards가 이를 어떻게 해결하고 있는지 살펴봅니다.

아시다시피 반도체 제조는 웨이퍼가 수많은 공정 공구를 통과하는 데 몇 달이 걸립니다.

모든 팹에서 가장 발전된, 그리고 가장 전략적인 잠재적 병목 현상 중 하나는 리소그래피 도구입니다. 최첨단 반도체를 만들기 위해서는 EUV가 필요하기 때문에 더욱 그렇습니다. 극자외선 리소그래피를 통해 제조업체는 초창기부터 반도체 제조의 발전을 정의해 온 기능과 장치 크기를 계속 줄일 수 있습니다.

시스템의 전반적인 처리량은 기본적으로 고정되어 있으므로 ROI를 보장하기 위한 노력은 시스템 가용성을 극대화하고 운영 비용을 최소화하며 제조 공정의 환경적 영향을 줄이는 데 집중해야 합니다.

비디오 및 트랜스크립트
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David Engerran이 EUV HVM의 과제와 Edwards가 이를 어떻게 해결하고 있는지 살펴봅니다.

공정 과제

진공 및 저감 관점에서 공정 과제를 이해하는 것은 공구 가용성을 극대화하는 데 있어 핵심적인 측면입니다. 짧은 파장 EUV 조명은 더 작은 특징을 만들 수 있지만 리소그래피 시스템을 훨씬 더 복잡하게 만듭니다. EUV 빛은 모든 물질에 강하게 흡수되므로 정밀한 반사 광학 장치를 사용하고 전체 빔 경로를 진공으로 봉쇄해야 합니다.

이러한 중요한 광학장치에 오염 물질이 없도록 하기 위해 수소는 EUV 공정에서 공정 물질과 반응하여 공정 도구에서 제거한 후 진공 시스템으로 운반하는 데 사용됩니다. 이제 진공 및 저감 시스템이 이러한 높은 유량의 수소를 안전하고 효과적으로 관리하기 위해 필요합니다.

Edwards는 이러한 과제를 어떻게 해결하고 있나요?

혁신의 기술은 팹 직원, 주변 지역 사회 및 환경의 안전을 보장하는 방법을 찾는 동시에 효율성을 향상시키고 운영 비용을 절감하는 방법을 찾는 데 있습니다.

EUV는 공기 중의 인화성 특성으로 인해 안전과 환경에 중점을 두는 상당한 양의 수소를 사용합니다. Edwards EUV 시스템은 EUV 공정을 위해 특별히 설계된 진공 펌프를 사용하고 반응 화합물을 포집하기 위해 트랩을 통합합니다. 시스템 전체에 인화성 혼합물이 존재하지 않도록 하기 위한 안전 센서가 전체 시스템에 포함되어 있습니다. 전통적으로 연료 연소식 저감 시스템을 사용하여 진공 펌프의 다운스트림에서 수소를 연소시켰지만, 이 방법은 상당한 에너지와 자원이 필요하며 지속적인 유지보수가 필요합니다.

Edwards의 새로운 무연료 접근 방식은 연료 연소식 저감 방식에서 벗어나 수소를 인화성 범위보다 훨씬 낮은 수준으로 안전하게 희석합니다. 이를 통해 항상 안전을 보장하고 에너지 요구 사항을 크게 줄일 수 있습니다.

다행히도 수소 자체는 환경에 부정적인 영향을 미치지 않습니다. 일단 농도가 최소 인화성 수준 이하로 떨어지면 매우 안전합니다. 연료가 필요 없는 수소 관리는 인화성 수준, 희석 기술 및 산업 안전 표준에 대한 철저한 이해를 바탕으로 합니다. 중요한 작업은 수소를 공기로 희석하는 것으로, 직관적이지 않은 접근 방식입니다. 그러나 혼합물이 인화성이 있는 임계 경로를 유지하여 매우 짧고 주의 깊게 모니터링함으로써 가스는 팹을 통해 안전하게 전달되어 대기로 직접 방출될 수 있는 비인화성 농도로 빠르게 희석됩니다.

연료가 필요 없는 수소 관리는 연소 제어로 인한 연료 비용 및 탄소 배출량, 희석에 필요한 질소 비용이 높지 않습니다. 최첨단 제조 역량의 글로벌 서비스 인프라를 통해 지원되는 Edwards는 종합적인 EUV 솔루션을 제공하는 동시에 고객뿐 아니라 관련된 모든 이해관계자를 위해 환경 및 사회적 가치를 창출할 수 있도록 보장합니다.

최첨단 제조 역량과 글로벌 서비스 인프라의 지원을 받는 Edwards는 종합적인 EUV 솔루션을 제공하는 동시에 고객뿐 아니라 모든 이해관계자를 위한 환경 및 사회적 가치를 창출합니다. 

David Engerran 프로필 사진

David Engerran

글로벌 제품 관리자
Edwards의 통합 시스템

EUV-LITHOGRAPHY

이러한 과제에 대해 자세히 알아보려면 David Engerran의 EUV 대화형 백서를 아래에서 데스크톱 및 모바일용으로 다운로드할 수 있습니다.

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