DIE RICHTIGEN BEDINGUNGEN FÜR INNOVATION SCHAFFEN
Edwards unterstützt Kunden bei der Optimierung ihrer Gesamtbetriebskosten. Dabei werden neben der Produktionseffizienz auch die Lebensdauer der Anlagen, Wartungsstrategien und Umweltaspekte berücksichtigt.
Die Kosten der Halbleiterfertigung werden wesentlich von drei Faktoren beeinflusst: den Investitionen in hochwertige und zuverlässige Anlagen, dem übergeordneten Betriebskonzept sowie der Wartungsstrategie für die eingesetzten Vakuum- und Abgasreinigungssysteme.
Wird einer dieser Bereiche vernachlässigt, können die Betriebskosten steigen und Investitionen in Produktionsanlagen beeinträchtigt werden.
4 Möglichkeiten, die Gesamtbetriebskosten in der Halbleiterfertigung zu senken
- Bewerten Sie den Reifegrad Ihres Servicekonzepts für Vakuum- und Abgasreinigungssysteme, um die Auswirkungen Ihres aktuellen Ansatzes zu verstehen und Potenziale zur Optimierung Ihrer Betriebsabläufe und Gesamtbetriebskosten zu erkennen.
- Stellen Sie sicher, dass Ihre vorhandenen Anlagen mit optimaler Leistung arbeiten, um den größtmöglichen Nutzen aus Ihrer Investition zu ziehen.
- Erwägen Sie eine Generalüberholung als Alternative zum Kauf neuer Anlagen, um Kosten und Vorlaufzeiten zu minimieren und Ihren ökologischen Fußabdruck zu verringern.
- Wechseln Sie von einem Investitionsmodell zu einem „Vacuum-as-a-Service“-Modell und ersetzen Sie hohe Investitionsausgaben durch planbare Betriebs- oder Leasingkosten.
Servicelösungen zur Senkung Ihrer Gesamtbetriebskosten
- Generalüberholung
- Upgrades
- Core Service Plans
- Advanced Service Plans
Generalüberholung
Unsere Lösungen zur Generalüberholung bieten Ihnen die Möglichkeit, Ihre Gesamtbetriebskosten zu senken und gleichzeitig die Anfangsinvestitionen für Anlagen zu reduzieren. Generalüberholte Edwards-Produkte werden gemäß den Werksspezifikationen wiederhergestellt. Dadurch verlängert sich die Lebensdauer der Anlagen und ein Austausch wird erst später erforderlich. Darüber hinaus lassen sich die Betriebskosten unmittelbar senken, indem die Effizienz älterer oder verschlissener Anlagen wieder verbessert wird.
Upgrades
Edwards hat eine Reihe von Upgrades entwickelt, die längere Serviceintervalle ermöglichen und die Effizienz Ihrer Anlagen steigern. So können Sie Ihre Betriebskosten senken
Core Service Plans
Eine geplante Wartung kann Ihre Betriebskosten erheblich beeinflussen. Regelmäßige Wartungsmaßnahmen können die Lebensdauer Ihrer Anlagen verlängern und das Risiko eines vorzeitigen Austauschs reduzieren. Gleichzeitig tragen sie zu einem kosteneffizienten Betrieb Ihrer Anlagen bei, indem unnötige Reparaturen infolge unerwarteter Ausfälle sowie zusätzlicher Verschleiß durch einen Betrieb bis zum Ausfall vermieden werden.
Advanced Service Plans
Unsere Risikomanagementlösungen können wesentlich dazu beitragen, Ihre Ziele hinsichtlich der Gesamtbetriebskosten zu erreichen. Unser Modell der vorausschauenden Wartung reduziert Risiken und Unsicherheiten aufgrund von Anlagenausfällen, die zu Wafer-Ausschuss führen können. Die Risikomanagementpläne von Edwards umfassen auch eine Pay-per-Use-Option, mit der Kunden Investitionsausgaben reduzieren oder Kapital für andere Investitionen einsetzen können. Planbare Betriebskosten ermöglichen darüber hinaus eine effizientere Budgetierung.
Kundenerfolg
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Geben Sie die Anzahl ungeplanter Ausfälle Ihrer Vakuum- und Prozessanlagen pro Jahr in den Online-Rechner ein. So können Sie ermitteln, welchen zusätzlichen Mehrwert eine höhere Kammerverfügbarkeit, weniger Ausschuss und geringere Wartungskosten bieten.
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FAQs
Häufige Fragen zu den Serviceleistungen von Edwards
Lesen Sie die Antworten auf einige der häufigsten Fragen unserer Kunden.
TCoO verstehen
Was bedeutet „Total Cost of Ownership (TCoO)“ für Vakuum- und Abgasreinigungssysteme in der Halbleiterfertigung?
TCoO umfasst die gesamten Lebenszykluskosten für den Besitz und Betrieb Ihrer Vakuum- und Abgasreinigungssysteme und geht damit über die reinen Anschaffungs- und Servicekosten hinaus. Dazu zählen Energie- und Medienverbrauch, geplante und ungeplante Wartungsmaßnahmen, Ersatzteile, Kosten durch ungeplante Ausfallzeiten, die Wiederherstellung von Anlagen und Wafern, Durchsatzverluste bei Wafern, die Wartungsstrategie sowie Entscheidungen am Ende der Lebensdauer. Der Ansatz von Edwards berücksichtigt darüber hinaus Lebensdauer der Anlagen, das Wartungskonzept, die Produktionseffizienz und Umweltaspekte.
Welche Faktoren haben den größten Einfluss auf die TCoO von Vakuum- und Abgasreinigungssystemen?
In der Praxis werden die Gesamtbetriebskosten vor allem durch die direkten Kosten für Wartung und Versorgungsmedien, die indirekten Kosten längerer oder ungeplanter Ausfallzeiten und die damit verbundenen Durchsatzverluste bei Wafern sowie die direkten Kosten für die Wiederherstellung von Anlagen und Wafern bestimmt. Wird einer dieser Bereiche vernachlässigt, steigen die Betriebskosten und auch Investitionsentscheidungen können beeinflusst werden.
Wie sollten die Gesamtbetriebskosten (TCoO) ermittelt werden: pro Anlage, pro Prozess oder für die gesamte Fab?
Ein aussagekräftiges TCoO-Modell berücksichtigt drei Ebenen: die einzelne Anlage (Kammerverfügbarkeit und Risiko von Wafer-Ausschuss), den einzelnen Prozess (Verbrauch von Versorgungsmedien und Nebenproduktbelastung) sowie die gesamte Fab (Reifegrad der Service-/Wartungsstrategie und Betriebsabläufe, Standardisierung und Gerätelebenszyklusstrategie). Dies verdeutlicht, wie sich die Leistung von Vakuum- und Abgasreinigungssystemen sowohl im SubFab als auch im Reinraum auswirkt.
Wie lässt sich der Mehrwert durch weniger Ausfallzeiten und ungeplante Ausfälle schnell abschätzen?
Ermitteln Sie zunächst, wie viele ungeplante Ausfälle Ihrer Vakuum- oder Abgasreinigungssysteme pro Jahr auftreten, insbesondere solche, die zu Wafer-Ausschuss führen. Berechnen Sie anschließend das daraus resultierende Potenzial durch eine höhere Kammerverfügbarkeit, einen höheren Wafer-Durchsatz und geringere Wartungskosten. Edwards bietet für diese Bewertung einen Online-Rechner.
Ausfallzeiten, Risiken für die Produktionsausbeute und Betriebsstabilität
Warum hat die Leistung von Vakuum- und Abgasreinigungssystemen einen so großen Einfluss auf die Anlagenverfügbarkeit?
Vakuum- und Abgasreinigungssysteme sind für viele Prozessschritte unverzichtbar. Instabilitäten bei Temperatur, Druckregelung und Nebenprodukthandhabung sowie Korrosions- oder Partikelprobleme können zu ungeplanten Ausfallzeiten führen und das Risiko von Wafer-Ausschuss erhöhen. Diese Faktoren wirken sich deutlich stärker auf die TCoO aus als zusätzliche Anlagen- und Servicekosten.
Was sind typische Ursachen für ungeplante Ausfälle von Vakuumsystemen in der Halbleiterfertigung?
Zu den häufigsten Ursachen zählenAblagerungen von Prozessnebenprodukten, Korrosion bei anspruchsvollen Prozessen, unzureichendes Spül- oder Temperaturmanagement, der Betrieb von Komponenten über die empfohlenen Serviceintervalle hinaus sowie eine unzureichende Überwachung, durch die sich kleine Abweichungen zu Ausfällen entwickeln können. Ein proaktiver, zustandsbasierter Serviceansatz in Kombination mit gezielten Upgrades ist in der Regel der schnellste Weg, wiederkehrende ungeplante Ausfälle zu reduzieren und den Wafer-Durchsatz zu erhöhen.
Wie lassen sich Ausfallzeiten reduzieren, ohne die Anlagen häufiger als nötig zu warten?
Das Ziel ist ein hoher Reifegrad der Servicestrategie: standardisierte Abläufe, risikobasierte Serviceintervalle und datengestützte, zustandsbasierte Wartungsmaßnahmen. So lassen sich ungeplante Ausfälle reduzieren, ohne unnötigen Arbeitsaufwand zu verursachen oder Komponenten vorzeitig auszutauschen. Edwards empfiehlt, zunächst den Reifegrad der Servicestrategie für Vakuum- und Abgasreinigungssysteme zu bewerten, um Potenziale zur Optimierung des Betriebs und der Gesamtbetriebskosten zu identifizieren.
Ziel ist es, den Reifegrad der Servicestrategie zu erhöhen und von einem reaktiven „Break-Fix“-Ansatz zu einem umfassenderen Wartungsprogramm überzugehen. Mit zunehmendem Reifegrad setzen Unternehmen auf eine ausgewogene Kombination aus standardisierten Arbeitsabläufen, risikobasierten Wartungsintervallen, zustandsbasierter Überwachung, vorausschauender Wartung und Methoden zur kontinuierlichen Verbesserung der Betriebsabläufe. Dadurch kann die Wartung bedarfsgerecht durchgeführt werden. Ungeplante Ausfallzeiten werden reduziert, während sich unnötiger Arbeitsaufwand und ein vorzeitiger Austausch von Komponenten vermeiden lassen.
Edwards empfiehlt, die Reife Ihres Wartungsprogramms als ersten Schritt zur Verbesserung der Geräteleistung, zur Reduzierung ungeplanter Ausfallzeiten und zur Senkung der Gesamtbetriebskosten (TCoO) zu beurteilen.
Wie können Upgrades die TCoO bereits installierter Pumpen senken?
Upgrades können die Serviceintervalle verlängern, den Verbrauch von Versorgungsmedien senken, die Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Betriebsbedingungen erhöhen und das Kontaminationsrisiko reduzieren. Jede dieser Maßnahmen kann die TCoO senken, ohne die mit einem vollständigen Austausch verbundenen Vorlaufzeiten und Betriebsunterbrechungen. Edwards positioniert Upgrades als Möglichkeit, die Leistung zu verbessern, die Gesamtbetriebskosten zu senken und Nachhaltigkeitsziele zu unterstützen.
Energie-, Medien- und Umweltkosten
Welchen Anteil haben Vakuum- und Abgasreinigungssysteme an den Energiekosten einer Fab
Vakuum- und Abgasreinigungssysteme können einen erheblichenAnteil am Energieverbrauch der Halbleiterfertigung ausmachen. Brancheninformationen zufolge können allein Vakuumpumpen bis zu ~20 % des gesamten Energieverbrauchs einer Fab ausmachen. Je nach Prozessmix und Art der Abgasreinigung kommt weiterer Energiebedarf hinzu.
Welche Energie- und Medienkosten sollten in einem TCoO-Modell für Vakuum- und Abgasreinigungssysteme berücksichtigt werden?
Dazu gehören Strom, Kühlwasser und (falls zutreffend) Brenngas und Spülgase. In vielen Fabs ist der Verbrauch von Versorgungsmedien durch Vakuum- und Abgasreinigungssysteme so hoch, dass sich durch optimierte Betriebsmodi und eine bessere Systemintegration messbare jährliche Einsparungen erzielen lassen.
Gesamtbetriebskosten und Servicestrategie
Mit welchen praktischen Maßnahmen lassen sich die TCoO des bestehenden Anlagenbestands senken?
Wir empfehlen vier praktische Maßnahmen: (1) den Reifegrad der Servicestrategie bewerten und zu einer zustandsbasierten Wartungsstrategie übergehen, (2) eine optimale Leistung der vorhandenen Anlagen sichern, (3) Generalüberholung als Alternative zu Neuanschaffungen in Betracht ziehen und (4) "Vakuum als Service" als kapitaleffiziente Möglichkeit prüfen, ältere Anlagen durch effizientere Modelle zu ersetzen.
Wie senken Servicepläne die TCoO und was ändert sich gegenüber einer reaktiven Wartung?
Ein strukturierter Serviceplan sorgt für eine bessere Planbarkeit des Budgets. Er kann ungeplante Ausfälle reduzieren, die Ersatzteilplanung verbessern, schnellere Reaktionszeiten ermöglichen und eine einheitliche Wartungsqualität sicherstellen. Die Halbleiterservices von Edwards sind daruf ausgerichtet, Anlagenverfügbarkeit, Wafer-Durchsatz, Sicherheit und Kostenkontrolle zu unterstützen.
Was bedeutet „Service Maturity“ bei Vakuum- und Abgasreinigungssystemen?
Der Reifegrad der Servicestrategie beschreibt, wie konsequent an einem Standort bewährte Verfahren für den gesamten Anlagenbestand umgesetzt werden. Dazu gehören Standards, eine mithilfe zustandsbasierter Verfahren optimierte und auf die Anlagenwartung abgestimmte Wartungsplanung, eine Ersatzteilstrategie, standardisierte Verfahren zur kontinuierlichen Verbesserung der Betriebsabläufe sowie eine datengestützte vorausschauende Wartung (PdM). Dadurch lässt sich die Anlagenleistung verbessern. Edwards empfiehlt, den Reifegrad der Servicestrategie zu bewerten, um Potenziale zur Optimierung des Betriebs und der TCoO zu identifizieren.
Was ist „Vacuum as a Service“ und wann ist dieses Modell sinnvoll?
Vacuum as a Service ersetzt hohe anfängliche Investitionsausgaben durch ein besser planbares Betriebs- oder Leasingkostenmodell. Dies kann insbesondere dann attraktiv sein, wenn SieBudgetschwankungen reduzieren,Entscheidungen über den Anlagenlebenszyklus vereinfachen, Investitionsausgaben senken oder Kapazitäten mit weniger internen Einschränkungen skalieren möchten. Vacuum as a Service ist für Edwards eine von vier Möglichkeiten, die TCoO einer Fab zu senken.
Wie entscheiden wir zwischen einer Neuinvestition, einem Upgrade und einer Generalüberholung?
Nutzen Sie einen einfachen Entscheidungsbaum: Ist die Leistung grundsätzlich unzureichend ist, sollte die Anlage ersetzt werden. egrenzen Zuverlässigkeit oder Nebenprodukthandhabung die Leistung, kommt ein Upgrade infrage. Ist die Anlage technisch intakt, aber verschlissen oder ineffizient, bietet sich eine Generalüberholungan. Edwards betrachtet Upgrades und Generalüberholungen als sich ergänzende Möglichkeiten, die Gesamtbetriebskosten zu senken und die Nutzungsdauer der Anlagen zu verlängern..
Wie erstellen wir einen Business Case für Verbesserungen der TCoO?
Ordnen Sie jede Maßnahme einem von drei Nutzenbereichen zu: (1) höhere Kammerverfügbarkeit, (2) weniger Ausschuss/Nacharbeit, (3) weniger Wartung und Verbrauchsmaterialien. Der Online-Rechner von Edwardsberücksichtigt dabei Ausfallzeiten, Ausschuss und Wartungskosten.